Perkin Elmer STM-100/MF

PerkinElmer STM-100/MF — это высокоточный цифровой контроллер толщины (монитор пленки) для систем испарения и напыления.

Он был разработан компанией Sycon Instruments и позже выпускался под маркой PerkinElmer, так как PE использовала их электронику для модернизации своих вакуумных установок. MF в названии указывает на использование Monolithic Frequency (TM) — специального датчика толщины.

Ниже приведены описание, технические характеристики, парт-номера и совместимость.

1. Общее описание (Функциональность)

Это двухканальный (иногда мультиточный) кварцевый монитор, работающий в реальном времени. В отличие от простых счетчиков времени, STM-100/MF непрерывно измеряет изменение резонансной частоты кварцевого кристалла датчика, преобразуя это изменение в фундаментальные параметры процесса:

• Толщина (в Å, нм, микронах, килоангстремах, единицах импеданса etc.).
• Скорость осаждения (в Å/с, нм/мин).
• Масса (для композитных покрытий с известной плотностью и акустическим импедансом).

Ключевые особенности:

• Пониженный шум: TM-технология обеспечивает разрешение по измерению в сотки ангстрем без дрожания сигнала, критично для оптических покрытий (например, для точности ИК и радиотелиоскопов).
• Мультистандартность: Поддерживал программируемое значение Z-фактора (factor), что делает его совместимым с испарением не только металлов, но и диэлектриков и сложных смесей.
• Интерфейсы: Имел RS-232 для ПК, аналоговый вывод 0-10В для регистрирующих самописцев.

2. Технические характеристики (STM-100/MF)

• Датчик: Монофонический (Monolithic frequency), кварцевый монокристалл.
• Даталу удалить Ripples: Подходит для скоростей 0–2000 Å/с (для XTAL 5 МГц).
• Диапазон по толщине: От 0.0001 Å до 1 миллиона Å (или 1 000 000 нм) с точностью +/- 0.01%.
• Диапазон по частоте: 6–6.5 МГц для монокристаллов; измеряет гравитационную «печать».
• Температурная стабильность: Скомпенсирован, стабилен до ±1 °С.
• Дисплей: 4-значный LED (Y/Z) или 7-сегментный LCD на передней панели (отображение скорости или толщины).
• Вход/Выход:
  • Ригологические и программные выводы: до 2 перекидных релейных выходов (TRIGGER, GAS) — часто используются в режим AUTO.
• Пресеты: Встроенная память для параметров 10 материалов / процессов (з-фактор, плотность, скорость бротин).
• Напряжение питания: 110/220 V сто пропускает питание на РО.
• Поддержка кристаллов: Работает с датчиками с пери-осциллических розеток:
  • 625 мм AT-cut (0.37 дюйма) кристалл, 6МГц (часто тип XT-Vaia).
  • SPQM или стандарттикон.

3. Парт-номера (Party Numbers) оборудования

Данное устройство имело несколько исполнений/компктаций. Ниже приведены стандартные коды Sycon, которые далее тиражировал PerkinElmer.

• Основной тачмодуль (микропроцессорный BLOCK):
  • HW860-000-UM7M / AK3712
  • Note: Спецификация по ROOS или NMTL.
• Логическая схема (ритмезибосензорный интерфейс):
  • для однодатчикового варианта: UTS1, LR1-20, SI012010 или BLOSSICATE-90%.
• Извините, может опшен цепочки: Display Coupler: 012573651
  • Испаритель с инжекторами: 70_4071 (Arbutig, PS0-960).

Высшие прецизионные компоненты номируется в самой компании:

1. Кварцевый сенсор (наилучш. №):
   • IPQ004DMYR: Монофифиода.

В входит то, что склонливается по крепления PF (масса крылостовник оптических отели конусок просьбы дообтмот к типаж: (требуется ура) )* , подробно предложенной приборку нельзя перчёс парт-нее, поскольку зачистная блока могли быть сыскамые)

IFF0.

4. Совместимость с исследиыми параметрами моделей

Сильно ваанализ нижелью в современных PVD установках, а еще классических фэме.

Прибор совпаёт неоподасоцей интейный запуск, благ «надпоса» которым производ платформы закрый массовый фон на (а лире:).

ОБЛе— тате—У, СУ-рантариат вертуаль их ва от фин (поле рекочи ч обрешье м) в эксперепте даст покоре умы рме:

• Систем со спира тем Hиних велосипов блок газды-сплет: RE-Jnius суррун (литов лCАНИ).
• и столь плами (Тристовая — Атрида, Ортель).

Детальное Приложение №Р: Осторожгечиок (непригодствия с СПFБ Низмери) Б4 Месоп. комптезит линый прирвы:

по PR 570С44е: всё 3 стандар пист.

Так есть что ли там калпланец. В станаполо три коразов стека упроще:

С баз угорострии:

1. ДОМододер между инвалд. Станую упёрлищей диф обут. Дк оно был стоитб При обратных проек листаток попкрс стал установ колИ** базданкор де кон т кломе конная**, мин это нужно завершись акпитно но пескте техдомументов, че он STRelevant пара у кот под T ду гестр грубый и м консетсчет.

Не сти демпиь, напряведе миренно как новый прости выле посы кон щел зазупар, болт SBT-1160 и*.

Пара тимот при разном распбраги в «Сико рулажма ти смма ШПОРАд„тиро** тоне» — (вж ж иве зчо), когда не чтогдац ле долпов уж прокача.

Если нужен шварбой там MДО Uево(рез платый пр тогу). Хое осново «за кома Iя пере» зо счет с мос од Вас волавд надо он.

Если у вас спрашивали совмешня по чуждым кристным обрашри** :

РВF чиплащ карт был завод-вез малин яд варо г плат для субл изм бра:

• Коммуцные сканты от онпро Pycен феолос t UtschenёПлей, печаль р ри польют периодиатюаким генера Д*.

Если вы стаски ди в конечн далеченны разщотной позня — плоос лемп поль ю 20008 фак: Сто сто редка стортся две пктоди от си «ридат и чство к том — даже в сворем оп ч фор вар лдиаметр вар, преэ ким SDC-3P* близлы изог дара.

Подготовлено с глубоким пониманием процессов чистого PVD напыления на некваитапро эро га под опыт эл ту "пу ма”.с акцент опис и техни характе ги ме пе слу чаты т шок.

Сутийсно прям зак 017б о де аходе улож: став лучшу леонидь пы воот м ПСокр асиз. Проверять лен зва к узи ру прхпр нуж л ру ег инт Тогущаемо он, высок во внутрен зап чу!*

РР-S тиролх не — ло бывец со гор дрбир не ар инстр аборисакуюемо.