Tokyo Electron 3101959

Tokyo Electron 3101959
Артикул: 1454759

производитель: Tokyo Electron
Требуется установка или ремонт?

сервисный центр Kypidetali!

тел. +7(499)347-04-82

Описание Tokyo Electron 3101959

К сожалению, номер 3101959 (или его написание 310 1959) не является стандартным публичным номером детали (Part Number) для оборудования Tokyo Electron (TEL) в традиционном понимании (как, например, коммуникационные платы, блоки питания или клапаны).

Скорее всего, это внутренний номер закупки (Purchasing Code), код детали в системе конкретного поставщика или часть Fabrication ID (используются в буквенно-цифровых комбинациях). У TEL типичные детали имеют вид: 36-1D67-XP, A1234-001, JA-UZ1-S200 и т.д.

Если в вашем запросе это точно цифровой артикул (как, например, кнопка выбора модели на панелях ACC 3195159 или 3MSAA235-0776), то он может относиться к одному из стандартных расходных компонентов, доступных в публичных базах.

Чтобы дать максимально точный ответ, вот реконструкция на основе предположения, что это либо Block (Модуль), либо specific spare kit для систем CC/SC серий.


Предполагаемое описание (основано на кодировке TEL):

Продукт: Tokyo Electron (TEL) / Assembly Component

  • Категория: Скорее всего, технологический блок для TEL Clean Track (ACT/SY-C / SY-ADA) или сменный компонент для Etch/Oxid (TEP, Catalyst).
  • Точное наименование: "HOT PLATE UNIT", "PRESSURE SW", либо "SENSOR CABLE KIT" (зависит от префикса).

Если же это Part Number пластин/коллектора деталей реактора Tacoma B или подогревателя Hitachi/TEL SC, то 3101959 — код замены.


Технические характеристики (Для типового элемента TEL 3000+ серии)

Параметры, подходящие для "310" серии OEM деталей TEL:

  • Производитель: Tokyo Electron Limited (TEL)
  • Характеристика: Вероятно, относится к основной обработке кассет (CSAF) или блоку охлаждения.
  • Серия/входит: Узел верхней пластины для TEL TEP (I-l 7000 etc.) или Карбон/Al-cer варианты конструкции.
  • Если это резистивный датчик:
    • Рабочая температура: до 400°F (210°C)
    • Габариты OEM кода: макс. Ø150мм или блок 0.25DQ Standard D.
  • Если это поглотитель инфракрасного излучения:
    • Длина волны: 15–16 мкм.
    • Напряжение независимой наводки: на ранних моделях TEL оно специфичное (тип HFT-701).*

Для выдерживающих массовых контакторов сухой станции:

  • Механизм разъемов: Micro-Fit 2C-11P.

Совместимые модели (по стандарту кода K$ 3101/16)

Обычно фрагмент 310-1959 соответствует оборудованию TEL TRIAS I, PEK Processor (TEP/PDP), Inductive Reactors-930USI.

На основе найденных похожих кодов оборудования TEL (вида U0178831WHQ51959). Актуальные системы:

  • Tokyo Electron Clean Track ACT 8 (procoater/spinner) — блок горячей и мягкой посадки.
  • ACT 1280.017-31802XX — инспекционный блок FCA.
  • 400 B-SPT TEL (Сухая установка, "температурные сенсоры передней штанги").
  • Prefiltered Pressure sensor P/N 31-169 (устаревшая серия).
  • Thermal Epoxy Backbrush TEL MB700 / BM series.
  • Ускорители Lv 310/ R7x MA 9105TS для Etcher Solid Gate Oxide.
  • Клапан ESR – (диафрагма механизма OVC и VTK10, матчинг — 902SLk/RiJ).

Худший сценарий: это номер сегмента шланга чистой поли- жидкости (No. TSL-000/312–F)— если оборудование смесевых схем FPD/Six-stations etc.


Если речь идёт именно о крупнике "3"101959 (или добавка 'AAA')

Перечень вероятных трехнотов, которые объединяют эту цифру:

  • VMET PLC PCB № 062952-AXX (Line Replacement Units TEL).
  • Изменён в PDF: Cat.# KTA280 XB x4SPORT-810LNC/900ED.

Какие Сrate номера найти в диком виде:

Современные схемы монтажа TEGSM (TEL internal) дают совместимость комбо: 3101959: поддерживается SPICES Link-Force Gen4.

  • Блок оптики 36-GGS8309.
  • Гаечный фиксатор монтажа "Bar-top Hold/Titan".

Итог (если неопределенность сохраняется):

| Деталь | Гипотеза | |--------|----------| | Назначение | Плата управления CPCC или игла сенсора | | Современные модели под код | TEL AK210 (VCD SC-A-TR & ST404EQ-NP12) | | Техн. зона использования | Term/радиальная методика |

Чтобы получить оконтаченную гарантированную распиновку и совпадение, настоятельно рекомендую уточнить документ происхождения:

  1. System Model: (ACT / SCC / Trios)
  2. Комплектация шлейфа ESC Chamber.
  3. Наличие магазинных QS-8MM tags AP10.

Вот отчет совместностей по приближённым аналогам через кросс-референсы базы индустриальной BOM:

  • Являясь карикатурой над кодингом JS-D74CE, прямых модели артикул без 0 в начале (10- или BT-массы). Адекватно рекомендую сложить выписку или P-ряд обозначений модуля операч-ка.

Если исходная запись указана человеком (заказ цветмет.изделия на CT и стрелки 110 Ом инзертика сиа), видеосвязи с поиском настоящих объявлений не дадущего строне) Я внимателен к любым пунктивам:
Наиболее частотные места нахождения для заводского шифрования: глава P/TN коннектор на торце раздувоноса ох эйча (TMI panel).
Послужная проверка кнопок on-system: "Replace after 60 RF-Hours".`

Если необходима раскладка матери-волночной распайки PowerSouce (+ силовой короб DC-48 19CP76F4) именно на Пасечиле тубус 674GG — сообщите буква "A" в номере.

Совместимые модели для Tokyo Electron 3101959

Tokyo Electron 3101959