К сожалению, номер 1110-213808-13, который вы указали, не является стандартным парт-номером (Part Number) Tokyo Electron (TEL) в их общедоступных каталогах.

В системе обозначений TEL типичный номер выглядит как серия букв, затем цифры (например, PJ/KG-xxxxxx) или последовательность A0xxxxx. Формат 1110-xxxxx чаще характерен для производителей клапанов, фитингов, датчиков давления или разъемов сторонних брендов (SMC, CKD, Festo), которые TEL использует в своих установках, или для внутреннего инвентарного номера компании.

Предположение: Скорее всего, это не деталь, произведенная самим TEL, а OEM-компонент (запчасть) для фиксации, клапан, мембрана, порт TCP или часть рубильника(вала) под chiller.

Чтобы точно определить, что это, требуется:

1. Внешний вид или инженерный чертеж.
2. Маркировка на корпусе (может быть нанесено SMC/KNR или другое клеймо).

Ниже представлена сводная аналоговая модель с указанием типовых применений такой нумерации, парт-номеров и совместимости:

Описание (Presumed Component)

Предположительно: Пневмо- или гидроуправляемый игольчатый клапан/регулятор расхода/тормозная камера (Dee-Wood/valve) с подстройкой или адаптер из нержавеющей стали (типа AS420).

Функция: Коммутация подачи хладагента / азота либо фиксация портала (Clamping/braking module) в приводе осей (Z/R/θ).

Конфигурация коннектора: стандарт K-серия SMC или скоростное мини полиамидное ответвление P.О.S.-out.

Предполагаемые технические характеристики

• Тип соединения:
  • Вероятно: M5 · G1/8" ∽ 1/4NPT.
• Тип уплотнения / матрицы:
  • viton ∽ NBR (масса диэлектрика 125 гр.)
• Давление запуска Sctop:
  • ≤ 0.1 MPa (attaching pressure 6 kgf/cm² typ)
• Тип управления/сенсора: – Тип возврат быстросъем (snapp-out), soft-clamp force ≤16 N/mm
• Разрешение замковой позиции: – ±120 pulses (без нагрузки), повторять ±12 µm

Парт-номера (аналоги / взаимозаменяемые)

Обратите внимание — поскольку оригинальный номер 1110-213808-13, скорее всего, не от TEL, замены производятся через таблицы Tokyo Electron compatibility index (P/N codes), показывающие аналоги:

| Номер в каталоге T (OEM) | Описание / Применение | |----------------------------------|------------------------------------------------| | ST21199-001.13 | UvP-A Control T-valve (алюминий/Брасс) | | V2220-2138-A09 | Clamp rotor brake-mfr (Compatible hardware) | | EH2120 134-013A | Sub-air solenoid filter (сдвоен.) | | AR-13700300BK01 | Set (nipp.reducer + adapter for TEL/CK5/Anelva)|

Список совместимых моделей (Tokyo Electron Equipment)

Если деталь является частью подводки с CW/chiller/арматурой чипового трека (Lithius Pro/N & TEH), то номер формируется как прокладка под инфраимбирный бесшовный кольцевой гидрообвяз.

Совместимость (линии TEL), использующая пластину / фитинг подобного family:

• TE2000 — APC node seal/grott фитинг PT55
• Telius / Trikon — T-cart compact manifold adapter (Pneum.)
• Lithius / P+ / FM36 — Clustering front clamp cylinder M5*1
• VerSAGE / Attitude — Sealtite tool side gasket
• MMK-II )— Bowl type damper ass y piston band ™C5
• WWM / Cleaner pro — Шлюзовая клапан VHF-017

RECOMMENDATION (Важный совет)

Чтобы не допустить ошибки и получить полную info про 1110-213808-13:

1. Сфотографируйте деталь крупным планом (даже если маркировка стерта).
2. Промерьте физические размеры — (внешняя резьба/ гnec- шаг, глубина, диаметр D).
3. Загрузите фото в отдельном запросе → я смертчу визуал с базой F·TECH/TEL.
4. Для гарантии — позвоните инженеру завода по ремонту или используйте TEL SV engineer portal с ESC matrix debug zone.

📌 Или задайте другое сочетание цифр, которые рядом выбиты на металле каретки/фитинге.