Tokyo Electron 11810003101C

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для продукта с маркировкой Tokyo Electron 11810003101C.

Общее описание

Код 11810003101C является внутренним серийным номером (Serial Number) или идентификатором партии/устройства конкретного экземпляра компонента или модуля производства Tokyo Electron (TEL).

Важнейший момент: Этот номер НЕ является парт-номером (Part Number) для заказа. Он уникален для каждой отдельной единицы продукции и используется для:

• Отслеживания в цепочке поставок и производства.
• Гарантийного учета.
• Истории обслуживания конкретного компонента в установке.
• Идентификации в протоколах тестирования и валидации.

Чтобы найти правильные технические характеристики и заказываемые парт-номера, необходимо определить основной парт-номер узла, в который входит этот компонент.

Вероятное назначение (на основе формата кода TEL)

Основываясь на структуре нумерации TEL, компонент с таким серийным номером, скорее всего, является частью Криогенной насосной системы (Cryopump) или модуля высокого вакуума, используемого в оборудовании для полупроводникового производства, таком как:

• Системы травления (Etch): Серии Telius, Exelan, Versys и др.
• Системы осаждения (CVD/ALD): Серии Trias, Vega и др.
• Системы очистки (Clean/Wet).

Это, вероятно, крионасос (Cryopump) или его ключевой компонент (например, холодная головка - Cold Head), который является критически важным для создания и поддержания высокого вакуума в процессе обработки пластин.

Предполагаемые Технические Характеристики (Типовые для крионасоса TEL)

Поскольку 11810003101C — это серийный номер, ниже приведены типовые характеристики для компонента, которым он, вероятно, является:

1. Тип: Криогенный насос (Cryopump) / Холодная головка (Cold Head)
2. Модель холодной головки: Вероятно, SHI Cryogenics Model RD или RDE (например, RDE-418D), так как TEL часто использует компоненты SHI.
3. Скорость откачки (для азота N₂): ≈ 1000 - 5000 л/с (зависит от конкретной модели насоса).
4. Предельное остаточное давление: < 1.0 x 10⁻⁷ Па.
5. Температура вторичной ступени (массива конденсации): ~ 10-15 К.
6. Температура первой ступени (жалюзи): ~ 65-80 К.
7. Время регенерации (оттаивания): 90-180 минут.
8. Тип компрессора: Гелиевый компрессор с воздушным или водяным охлаждением.
9. Интерфейс подключения: Стандартный вакуумный фланец CF (например, CF 160 или ISO 160).
10. Электропитание компрессора: 200/400 В, 3 фазы, 50/60 Гц.

Парт-номера и совместимые модели (Ключевая информация для поиска)

Чтобы найти запасные части, необходимо отталкиваться от модели основной установки TEL.

Шаги для определения правильного парт-номера:

1. Определите модель установки TEL, на которой используется этот насос (например, Telius SCCM, Exelan Flex, Trias SPA).
2. Найдите номер узла (Assembly Part Number) для всей насосной системы или модуля вакуумной камеры в технической документации (Manual Parts List - MPL) этой установки.
3. Этот узел будет иметь свой собственный заказываемый парт-номер TEL (например, TEL-XXXXX-XXXX).
4. В спецификации к этому узлу будут указаны парт-номера производителя (OEM) для отдельных компонентов, таких как крионасос.

Пример возможных связанных парт-номеров (OEM):

• Парт-номер крионасоса SHI Cryogenics: Например, CPS-8A или CPS-10C.
• Парт-номер холодной головки SHI: Например, RDE-418D, RDE-316D.
• Парт-номер компрессора SHI: Например, CNA-111A, CWA-100A.

Совместимые модели оборудования TEL (примеры): Компонент с серийным номером 11810003101C может быть использован в различных платформах, где применяются аналогичные вакуумные модули. Его прямая совместимость определяется именно парт-номером узла, а не серийным номером.

• Совместимые семейства оборудования (где могут применяться аналоги):
  • Травление (Etch): Telius, Telius SCCM, Exelan, Exelan Flex, Versys, Sym³.
  • Осаждение (CVD/ALD): Trias, Trias SPA, Vega.
  • Очистка (Clean): CELLESTA, SU-3000.

Рекомендации

1. Для заказа: Никогда не используйте серийный номер 11810003101C для заказа запчастей. Обратитесь к техническому паспорту (MPL) вашей конкретной модели оборудования TEL или свяжитесь напрямую с:

   • Сервисной службой Tokyo Electron.
   • Официальным дистрибьютором TEL в вашем регионе.
   • Специализированной вакуумной компанией, имеющей контракт с TEL.

2. Для поиска информации: Используйте этот серийный номер в связке с моделью вашей установки TEL при обращении в сервис. Это позволит точно идентифицировать историю компонента.

3. При замене: При замене криогенного компонента часто требуется не просто замена холодной головки, а полная процедура обслуживания насоса, включая регенерацию, проверку герметичности и производительности.

Вывод: 11810003101C — это уникальный идентификатор устройства. Все технические данные, парт-номера для заказа и информация о совместимости определяются основным парт-номером узла TEL и моделью оборудования, в котором этот компонент установлен.