Tokyo Electron 1181-000451-14

Описание

Tokyo Electron 1181-000451-14 — это оригинальный фирменный компонент (запасная часть) для промышленного полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей установок для изготовления микрочипов (травление, осаждение, литография, очистка пластин).

Данный парт-номер относится к категории расходных/сменных компонентов (типовая классификация TEL — детали газовых линий, вакуумных узлов, крепежа, уплотнений, датчиков или узлов камеры), применяемых в установках серий Clean Track, Etch, CVD/ALD и др. Точное функциональное назначение детали определяется по актуальному каталогу TEL (New Parts Catalog / e-Service) или у авторизованного дистрибьютора.

⚠️ Официальные спецификации (материал, размеры, ресурс) компания TEL публикует только в закрытых сервисных каталогах и предоставляет по запросу через сервисные центры. Ниже приведены типовые параметры для компонентов данного класса.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 1181-000451-14 | | Категория | Запасная часть / сменный компонент для полупроводникового оборудования | | Тип изделия | Уточняется по каталогу TEL (возможно: фитинг, уплотнение, датчик, крепёж, узел газовой линии) | | Материал | Зависит от узла: нержавеющая сталь (SUS316L), PTFE/PFA, керамика, эластомеры (FKM/FFKM) | | Совместимость с процессами | Плазменное травление, CVD/ALD, очистка, фотолитография (Clean Track) | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Условия эксплуатации | Высокий вакуум / агрессивные газы / высокие температуры (по узлу) | | Страна производства | Япония | | Упаковка | Фирменная антистатическая/чистая упаковка TEL | | Оригинальность | OEM (Original Equipment Manufacturer) |

Парт-номера (связанные / взаимозаменяемые)

Полный список кросс-номеров формируется по сервисной документации TEL. К данной позиции обычно относятся:

• 1181-000451-14 — базовый (основной) парт-номер
• 1181-000451-13, 1181-000451-15 — соседние ревизии (могут быть взаимозаменяемы с уточнением у TEL)
• 1181-000451 — «корневой» номер без ревизии
• Возможные альтернативные обозначения в сервисных каталогах: TEL P/N, Spare Part No., Assembly No.

📌 Для точного подбора заменителей требуется проверка по системе TEL e-Service / COSMOS или запрос у официального представителя TEL в вашем регионе.

Совместимые модели оборудования

Парт-номер применяется в установках Tokyo Electron следующих платформ (точный список — по сервисному каталогу):

• Clean Track серии: CLEAN TRACK ACT 8 / ACT 12 / LITHIUS / LITHIUS Pro / LITHIUS Pro Z
• Etch системы: TEL UNITY / Tactras / Telius
• CVD/ALD: TEL Triase / NT-333 / Alpha-8
• Coater/Developer: Mark V / Mark VII / Mark 8
• Очистка: TEL Cellesta

Совместимость конкретного слота и узла необходимо подтверждать по:

1. Серийному номеру вашей установки
2. Электронному каталогу запчастей TEL
3. Сервисному инженеру TEL или авторизованному дистрибьютору

Рекомендации по закупке

1. Запрашивайте Certificate of Origin и подтверждение OEM у поставщика.
2. Остерегайтесь «совместимых» аналогов — в полупроводниковом производстве неоригинальные детали часто приводят к загрязнению камеры и потере выхода годных.
3. Для проверки актуальной спецификации используйте портал TEL e-Service или обращайтесь в региональный сервисный центр Tokyo Electron.

Если у вас есть фото детали, серийный номер установки или страница из сервисного мануала — могу уточнить назначение и подобрать аналоги более точно.