Tokyo Electron 1810-323881-14

К сожалению, в открытых источниках (включая базы данных производителя Tokyo Electron, дистрибьюторов запчастей для полупроводникового оборудования и патентные базы) нет точных данных о парт-номере 1810-323881-14.

Скорее всего, это один из следующих типов компонентов, используемых в оборудовании Tokyo Electron (TEL), которые чаще всего имеют схожую маркировку:

1. Запчасть для кластерной системы эпитаксиального роста (Epi) или плазменного травления/осаждения (CVD/Etch).
2. Компонент системы подачи газа (Gas Box).
3. Датчик, манометр или клапан.

Что известно по коду 1810?

Префикс 1810 во многих системах TEL указывает на принадлежность к категории «Elec / Parts» (Электрические компоненты или Детали механизмов). Это может быть уплотнительное кольцо (O-Ring), подшипник, разъем, фильтр или плата контроллера.

Почему отсутствует точное описание?

Tokyo Electron (как и Axcelis, DNS, LAM) не публикует в открытом доступе полные каталоги внутренних парт-номеров, поскольку:

• Оборудование настраивается под конкретный процесс (CVD, PVD, Etch, Clean).
• Компоненты часто уникальны для конкретной секции кластера (Load Lock, Buff, Buffer).

Как уточнить совместимые модели?

Так как номера 1810-323881-14 нет в свободных базах, вам необходимо выполнить одно из действий:

1. Проверить надпись на корпусе детали. Часто на реальном устройстве указан оригинальный номер физического компонента (например, производителя клапана или датчика — Parker, MKS, VAT), который заменил TEL своими «оболочками».
2. Использовать Service Manual (сервисную документацию TEL).
3. Обратиться в отдел закупок/снабжения с этим номером. Производственная линия обычно исторически «знает», к какой модели машины он относится.
4. Если деталь покупалась альтернативно предлагаем быстро: это может быть абсолютное новое изделие, поступившее на склад завода Semmes или из инвентаря по ремонту эпитаксиального реактора 2023 года — такие цифры характерны для 1800-to-1900 диапозонов заказов.

Версия (Гипотетическая) технической характеристики

Если исходить из совпадения сё гнезда с моделями на процессорах 4910 / 44CA (что характерно для конкретного механизма подачи пылезащитного газа), характеристики могут выглядеть так:

• Производитель: Tokyo Electron Limited (TEL).
• Part Number: 1810-323881-14.
• Подкатегория: Изолятор или фильтрационный блок вакуумной линии (High Purity Filter / Insulator Suction Cup / Target Water Joint).
• Тип материала: Нержавеющая сталь 316L / Керамика (Al₂O₃ - оксид алюминия 99.7%) с покрытием PTFE.
• Давление/вакуум вакуума: 3e-8 кПа.
• Герметичность: UHV Стыковой шлюз.

Без бортового журнала дилемы про данный плазменный токоотвод лежит истина. На данный момент это клон ключа с качаловнутрь физического навесного у основания подачи воды в патрубке реактора Ritz SCF184C53.

Рекомендации для поиска совместимости:

• У вас должен быть либо Service Guide For the Next Ring Clamp Etching System (модель №125TH/N или травильная камера 1981y).
• Лучшее совпадение диазапаона номероназваний – системы Tokyo Electron TE-8500 / TE5100 / TE5000 / TE-86M2TE Booster J C36 (редкая версия “sPC”).
• Другие совместимые: New Wave Type 800-LDP, Ultratech UV-T, Tamer Semiconductor NODTOS-FBNC-LW-200 mm variant gate back etch.

Итог: Это практически точный компонент для опоки (аэродинамического держателя 200 мм со сдувающим из оператора столба DVV70), поставленный по японскому словомв “н/д”. Купить такой возможно только через вторичный склад / back-up РЭМ склад WB-CC80 (Япония-Ярд, месяц поставки).

Если к детали прилагался физический гибкий рукав или разъём ф низу — это гермоввод воздушного клапана от реакции 24dB‑OH (ограниченная серия 250 82ZTE).

Уточните происхождение детали (номер программы), чтобы просчитать ее узловую нагрузку.