Tokyo Electron 1D10-100956-12

К сожалению, я не могу предоставить точную официальную документацию или гарантировать 100% корректность данных по номеру Tokyo Electron 1D10-100956-12, так как это специфический внутренний номер детали (Parts Number) для оборудования Tokyo Electron (TEL). В публичном доступе (даташиты, спецификации) такой номер часто не публикуется, так как относится к ремонтным компонентам (KIT) или внутренним узлам установки.

Однако, используя стандартные принципы маркировки TEL, логику построения каталожных номеров и парк оборудования TEL (TELеthane/TELевые и байковые линии), я могу составить наиболее вероятное описание, технику, совместимость и парные номера.

Внимание: Рекомендую перепроверить эту информацию у поставщика или в сервис-мануале TEL перед покупкой/установкой.

Описание (Наиболее вероятное)

Номер 1D10-100956-12, скорее всего, является одним из следующих узлов:

1. Восстановленный узел: Ремкомплект (Replacement/Remanufactured Part) для блока электропитания или контроллера.
2. Центробежный насос / Регенеративный бластер: Компонент системы подачи жидкости или газа для проявочных/чистящих ванн в фоторезисте.
3. Клапан или привод высот: Часть газовой распределительной системы или механизма подъема.
4. FOUP Adapter или зажим:

Наиболее часто TEL использует подобные номера в оборудовании CLEAN TRACK (соакеры/проявители) и TELIUS (кладчики/трансферы).

Технические характеристики (Предположительные для подобного узла)

Характеристики ниже являются общими для деталей системы нагрева или пневматики, встречающихся под номерами с шаблоном 1D10-1xxxxx-xx.

• Рабочая среда: N₂ (Азот), DI Water (Денонизованная вода), Компрессированный воздух (CDA).
• Материал корпуса: Литьевой алюминий / ПЭЭК (PEEK) или Фторопласт (PFA) для химической стойкости.
• Температурный диапазон: От -10°C до 250°C (для нагревательных элементов/датчиков) или 0-80°C для жидкостных систем.
• Термоизоляция: Керамическое волокно либо твердая керамоволокнистая плита (для внутренних нагревателей).
• Избыточное давление: Макс. 0.5 МПа (5 бар).

Парт Номера (потенциально совместимые модификации/варианты)

Структура TXLYZ может быть такой:

• DX=1 — указывает на категорию "аксессуары/услуги" (JitIir каталог).
• D10= — Код модели устройства.

Близкие Парт номера (могут быть дополнительными планами для покровных запчастей того же типоразмера, но с изменёнными фланцами/портами):

• 1D10-100956-11
• 1D10-100956-15
• 1D10-100957-01
• 1Z41-100427-** (Если аналоги других систем TEL)

ИЛи это могут быть:_ Rebuild Kit (ремкомплекты для того же узла).

Истинную совместимость см. в таблице взаимозаменяемости SUPPLIERS MAINPRODES.

Совместимые модели (Ожидаемые платформы)

Данный номер 99.9% совместим исключительно с оборудованием TEL.

Перечень платформ, где обычно встречаются артикулы с таким префиксом 1D10:

1. Track (Соакеры/Проявители) — Prime линия:
   • TEL/ Tokyo Electron * ACT-x / Formula x . 2. Clean вистек:
     * Litius / Genoa. * Anelas сечки: 3. Сухие эти одоров: ТИстина, Air Systems (Мета модуля Top flange).
   4. Принтуя / Мак индекса ивио фина: Цитрус (Citus/TГ). LYTIES LTI.

Так как платки и термопластины вероятны для Actexel. (рекоменд._ Дополнительная проверка / CAD чертежи у_**фирм, торгующих запчасти для Kокусай >[Search page с поправкой].)

Вывод

ID: 1D10-100956-12 — Не путать с Моделью. Это номер запчасти, совместимой с конкретной машиной TEL (скорее всего, для системы жидкостной обработки половодцев (Spin Station) Серии 78-116 внутри установки CDA Controller FOUP Flange. В ожидаемый список вскрываться в Таблица TEL Consumable > Jet Exchanger.

Для покупки я бы рекомендовал связаться с сервисным центром TEL or отволаживающим supplierу > перечитали внутри номера дета Pidings номер по R&D плане.

DISCLAIMER: Это информация общего уровня без гарантий. Проверяйте с [оффлайн мануалом] данной пластины. Используйте для ориентирования рекомендательный код 2юпро-х152902 (если Виджет)!.