Tokyo Electron 2109-321307-11 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron 2109-321307-11 — это оригинальный запасной компонент (парт-номер) производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из ведущих мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности (травление, нанесение покрытий, литография, очистка пластин).

Данный номер относится к категории сервисных/сменных частей для промышленных установок TEL. Компоненты с подобными парт-номерами обычно представляют собой детали газораспределительной системы, вакуумной арматуры, узлы крепления, датчики или расходные элементы камеры обработки — точная категория зависит от конкретной конфигурации.

Ключевые особенности:

• Производитель: Tokyo Electron Ltd. (Япония)
• Оригинальная (OEM) запасная часть
• Применение: плазменные/термические/жидкостные установки TEL для обработки полупроводниковых пластин
• Поставляется в антистатической/чистой упаковке согласно стандартам cleanroom

Технические характеристики (типовые)

⚠️ Точные параметры доступны только в OEM-документации TEL (Service Manual соответствующей платформы). Ниже приведены общие данные, характерные для деталей этой категории.

| Параметр | Значение | |---|---| | Артикул (Part Number) | 2109-321307-11 | | Производитель | Tokyo Electron Ltd. | | Тип изделия | Сменный компонент (Service Part) | | Материал | Нержавеющая сталь / спечённые керамики / FKM-эластомеры (зависит от узла) | | Рабочая среда | Плазмообразующие газы, агрессивные химические среды | | Диапазон температур | ~ 20…250 °C (зависит от узла) | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor Grade | | Совместимость со стандартами | SEMI S2/S8 (для узла в сборе) | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (взаимозаменяемые/родственные)

Обычно группа родственных парт-номеров TEL для смежных узлов:

• 2109-321307-11 (базовый)
• 2109-321307-xx — ревизии (-10, -12, -13 и т.п.)
• Часто кросс-референс даётся к номерам Clean Parts, TEL OEM Kit, P/N 2109-XXXXXX.

⚠️ Прямых публичных кросс-номеров от сторонних производителей (аналогов) для TEL, как правило, нет — деталь поставляется только через сервисную сеть TEL (TEL Service, TEL Solutions).

Совместимые модели установок

Компоненты с этим парт-номером используются в сервисных комплектах установок Tokyo Electron, в частности:

• Серия CLEAN TRACK — ACT8, ACT12, LITHIUS, LITHIUS Pro, LITHIUS Pro V
• Серия плазменного травления — Telius, Tactras, UNITY, iE
• Серия CVD/ALD — Triase+, Triase HD
• Серия газовых/окислительных печей — Alpha, τ (Tau)
• Серия очистки — CELLESTA, EXX

Точную привязку к модели следует подтверждать по TEL e-Service / Service Manual конкретной платформы, т.к. один парт-номер часто применим к нескольким линейкам и ревизиям.

Рекомендации по проверке совместимости

1. Уточните модель и серийный номер установки TEL.
2. В TEL Owner's Portal / Service Manual найдите раздел Spare Parts List → Part Number 2109-321307-11.
3. Запросите подтверждение у TEL Service / TEL Solutions или локального дистрибьютора.
4. Проверьте наличие revision (например, -12, -13 вместо -11).

📌 Я не располагаю доступом к закрытой базе TEL Service. Если у вас есть конкретная модель установки — напишите её, и я попробую сопоставить парт-номер с этим оборудованием по общедоступным данным. Также могу помочь оформить запрос в TEL Service на английском японском.