Tokyo Electron 2181-020147-11

Описание

2181-020147-11 — это артикул (парт-номер) запасной части производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из ведущих мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности.

Данный номер обычно относится к компоненту, используемому в кластерах и системах обработки пластин TEL, таким как установки травления (etch), CVD, PVD, очистки или нанесения фоторезиста/coater-developer (серии CLEAN TRACK™). Это может быть деталь газораспределительной системы, вакуумной арматуры, узла подачи химии, датчика, фитинга или элемента камеры.

Для точной идентификации детали (наименование, материал, габариты) рекомендуется сверяться с официальным каталогом запчастей TEL или обращаться напрямую к дистрибьютору, так как внутренние парт-номера TEL не всегда раскрывают тип компонента без доступа к сервисной документации.

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL), Япония | | Артикул (Part Number) | 2181-020147-11 | | Категория | Запасная часть / consumable для полупроводникового оборудования | | Совместимость | Системы TEL (уточняется по сервис-мануалу) | | Тип компонента | Уточняется по каталогу (фитинг, клапан, датчик, деталь камеры и т.п.) | | Условия эксплуатации | Чистые помещения (cleanroom), вакуум/агрессивные среды — по спецификации узла |

⚠️ Важно: точные технические данные (материал, давление, температура, допуски) предоставляются только в официальной сервисной документации TEL или через авторизованного поставщика.

Парт-номера (возможные варианты написания)

• 2181-020147-11 — основной формат
• 218102014711 — без дефисов
• 2181 020147 11 — с пробелами

Родственные/заменяющие номера, как правило, имеют ту же базовую часть с изменённой ревизией (например, -10, -12, -13 и т.д.). Перед заменой обязательно проверяйте совместимость ревизий — они могут быть не взаимозаменяемы.

Совместимые модели

Парт-номер относится к внутренней номенклатуре TEL, и публичный список совместимых установок не публикуется. Компонент может применяться в системах:

• CLEAN TRACK™ (coater/developer) — серии ACT, CLEAN TRACK LITHIUS, LITHIUS Pro, LITHIUS Pro Z и др.
• Установки плазменного травления — серии Tactras™, Vigus™ и др.
• CVD/PVD системы TEL
• Системы очистки пластин TEL

Точный перечень совместимых моделей и узлов определяется по:

1. Сервисному руководству соответствующей платформы TEL.
2. Электронному каталогу запчастей TEL (доступен авторизованным сервис-партнёрам).
3. Консультации с официальным дистрибьютором TEL.

Где уточнить и приобрести

| Источник | Комментарий | |---|---| | Официальный сервис TEL | Гарантия оригинальности и точной совместимости | | Авторизованные дистрибьюторы | Для регионов СНГ и ЕС | | TEL e-Service / сервис-портал | Доступ по учетной записи клиента |

Рекомендации

1. Не заказывайте деталь по одному лишь парт-номеру — попросите у поставщика оригинальный datasheet или скан этикетки.
2. Свяжитесь с сервисной службой TEL или вашим полевым инженером для подтверждения совместимости ревизий.
3. Уточните, является ли деталь consumable (регулярная замена) или non-consumable — от этого зависят сроки поставки и стоимость.

Если у вас есть фото детали, этикетки или название узла — я помогу точнее определить наименование, назначение и аналоги.