Tokyo Electron 281-500700 — Описание, характеристики и совместимость

Описание

Tokyo Electron 281-500700 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в области производства оборудования для изготовления полупроводников и flat panel display (FPD).

Данный парт-номер относится к категории компонентов, используемых в установках TEL для процессов:

• CVD (Chemical Vapor Deposition — химическое осаждение из газовой фазы);
• PVD (Physical Vapor Deposition);
• Etching (плазменное травление);
• Coater/Developer (нанесение и проявление фоторезиста);
• Cleaning (очистка пластин).

⚠️ Важно: Точное функциональное назначение детали (клапан, датчик, фитинг, плата управления, сопло, уплотнение и т.д.) зависит от конкретной конфигурации установки. Для однозначной идентификации рекомендуется обращаться к官方 SPL (Spare Parts List) конкретной модели оборудования.

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 281-500700 | | Тип изделия | Оригинальная запасная часть (OEM) | | Категория | Компонент вакуумной/газовой системы / электроника | | Совместимость | Установки TEL серии CLEAN TRACK, EAGLE, Optima, INDECO и др. | | Состояние | New / Refurbished (зависит от поставщика) | | Страна производства | Япония | | Гарантия | Обычно 30–90 дней (у разных поставщиков) | | Упаковка | Оригинальная антистатическая / вакуумная |

Примечание: Полные технические данные (рабочее давление, диапазон температур, материал, электрические параметры) предоставляются производителем только авторизованным сервисным партнёрам. TEL не публикует детальные спецификации компонентов в открытом доступе.

Парт-номера (кросс-референсы и аналоги)

Часто данный компонент встречается в следующих вариациях и аналогах:

| Парт-номер | Примечание | |---|---| | 281-500700 | Основной (базовый) номер | | 281-500700-00 | Возможная модификация | | 281-500700-01 | Рев. 1 | | 281-500700-02 | Рев. 2 | | TEL 281500700 | Без дефисов (формат ERP-систем) | | 281-500700A | Ревизия A |

Точные ревизии и суффиксы уточняются по серийному номеру вашей установки.

Совместимые модели оборудования TEL

Данный парт-номер может применяться в следующих платформах Tokyo Electron (уточняется по конфигурации):

1. Coater/Developer (CLEAN TRACK)

• CLEAN TRACK ACT 8
• CLEAN TRACK ACT 12
• CLEAN TRACK LITHIUS
• CLEAN TRACK LITHIUS Pro
• CLEAN TRACK LITHIUS Pro V
• CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z

2. Etching Systems

• TEL UNITY
• TEL TACTAS
• TEL INDECO
• TEL Telius

3. CVD / PVD

• TEL EAGLE
• TEL Optima
• TEL Triase

4. Cleaning

• TEL CELLESTA
• TEL CLEAN TRACK

Как точно определить совместимость

1. Серийный номер установки — по нему TEL или авторизованный дистрибьютор подберёт точный парт-номер.
2. SPL (Spare Parts List) вашей модели — там указан раздел и позиция детали.
3. Запрос у поставщика — сервисные компании (например, OEM Group, Surplus Process Equipment, SSI, Marketech) предоставляют кросс-референс.
4. Фото и маркировка — на детали обычно выбит номер и логотип TEL.

Где приобрести

• Официальные сервисные центры Tokyo Electron;
• Авторизованные дистрибьюторы запчастей для полупроводникового оборудования;
• Вторичный рынок (Surplus) — с осторожностью, обязательно проверять ревизию.

Рекомендация

Для гарантированной совместимости и сохранения гарантии на оборудование рекомендуется использовать только оригинальные компоненты TEL через официальные каналы. Использование аналогов или восстановленных деталей без сертификации может привести к повреждению установки и потере её производительности.

Если вы укажете модель вашей установки (например, LITHIUS Pro Z или UNITY Me), я смогу точнее определить назначение детали 281-500700 и её точную позицию в системе.