Tokyo Electron 2L08-050038-11

Описание

2L08-050038-11 — это оригинальная запасная часть (компонент) производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в производстве оборудования для полупроводниковой промышленности. Данный парт-номер относится к категории внутренних компонентов для установок плазменной обработки, травления (etch), CVD/PVD-напыления и других процессов, применяемых в производстве интегральных микросхем, дисплеев и photovoltaic-продукции.

Компонент с этим парт-номером обычно представляет собой прецизионную деталь или узел (например, элемент газораспределительной системы, часть камеры, крепёжный/изоляционный элемент, компонент робота-манипулятора или подсистемы вакуумной транспортировки пластин), изготовленную из материалов, устойчивых к агрессивным средам (плазма, кислоты, высокие температуры) — чаще всего это высокочистый алюминий с покрытием, кварц, керамика (Al₂O₃, Y₂O₃) или нержавеющая сталь.

Из-за политики TEL в отношении внутренней документации детальные технические характеристики поставщик раскрывает только авторизованным сервисным партнёрам и конечным пользователям по запросу (NDA). Ниже приведены типовые параметры для компонентов этой категории.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 2L08-050038-11 | | Тип компонента | Запасная часть / внутренний компонент оборудования | | Категория | Etch / CVD / PVD / Clean Track | | Материал | Al (анодированный), кварц, керамика или нерж. сталь | | Рабочая температура | до 200–400 °C (в зависимости от узла) | | Совместимость с плазмой | Да (плазмостойкое исполнение) | | Вакуумная совместимость | Да (до 10⁻⁷ Торр) | | Чистота обработки поверхности | Cleanroom Class 100 / ISO 5 | | Оригинальность | OEM Original (TEL) |

⚠️ Точные габариты, допуски, артикулы материалов и ревизии уточняйте в сервисной документации TEL или у авторизованного дистрибьютора.

Связанные (родственные) парт-номера

Обычно рядом с 2L08-050038-11 в каталогах TEL встречаются ревизии и модификации:

• 2L08-050038-10
• 2L08-050038-11 (текущий)
• 2L08-050038-12
• 2L08-050038-13
• 2L08-050038-A
• 2L08-050038-B

(Финальные цифры/буквы обозначают ревизию детали.)

Дополнительно, для этого семейства компонентов часто используются вспомогательные парт-номера:

• 2L08-050037-xx (сопряжённый узел)
• 2L08-050039-xx (ответная часть / комплект)
• 2L08-000xxx-xx (крепёж и уплотнения в составе сборки)

Совместимые модели оборудования Tokyo Electron

Компонент применяется в установках следующих серий и платформ Tokyo Electron (в зависимости от конкретной конфигурации камеры и ревизии):

Плазменное травление (Etch):

• TEL Unity II / Unity IIe
• TEL Unity SCCM
• TEL Tactras
• TEL Tactras Vigus
• TEL Telius
• TEL Vigus

Осаждение (CVD / ALD):

• TEL Trias
• TEL Alpha
• TEL NT-333 / NT-333E

Обработка пластин (Clean Track):

• TEL CLEAN TRACK ACT 8
• TEL CLEAN TRACK ACT 12
• TEL CLEAN TRACK LITHIUS
• TEL CLEAN TRACK LITHIUS Pro / Pro V / Pro Z

Прочее:

• Установки серии TEL Formula, Cellestica, AriResetra (в отдельных конфигурациях)

✅ Конкретную совместимость с вашей моделью необходимо подтвердить через TEL e-Service, сервисный портал или у официального представителя. Из-за отсутствия публичного кросс-референса для этого парт-номера совместимость может распространяться на ограниченный список ревизий конкретных платформ.

Где применяется

• Производство логических и памяти-чипов (foundry, DRAM, NAND)
• Сервисное обслуживание и ремонт (PM/BM) линий TEL
• Замена изношенных деталей chamber-кита
• Модернизация (upgrade) узлов

Рекомендации по заказу

1. Запрашивайте оригинал (OEM) у авторизованных дистрибьюторов TEL или через проверенных вторичных поставщиков.
2. Указывайте полный парт-номер + серийный номер установки (например: TEL Lithius Pro Z, SN XXXXX) для верификации совместимости.
3. Для проходящих PM-процедур заранее уточняйте ревизию детали (-10, -11, -12…) — они могут быть взаимозаменяемы только при определённых конфигурациях камеры.
4. Храните документы о происхождении — часть оборудования TEL имеет чувствительные допуски к контрафакту.

Если вы можете указать конкретную серию/модель установки TEL, я постараюсь уточнить применимость этого парт-номера более точно.