Tokyo Electron 3D16-000116-V1

К сожалению, я не могу предоставить точные технические характеристики и совместимость для парт-номера Tokyo Electron 3D16-000116-V1, так как этот номер не является стандартным каталоговым номером запасной части (spare part) для оборудования Tokyo Electron (TEL), которое находится в открытом доступе.

Возможные причины:

1. Закрытая спецификация: TEL не публикуют в открытых источниках подробные чертежи и даташиты на внутренние сервисные части (например, клапаны, подложки, фиксаторы). Эта информация доступна только авторизованным инженерам и сервисным центрам по контракту.
2. Ошибка в номере: Возможно, допущена опечатка. Très часто в парт-номерах TEL используются другие префиксы (например, D3 или GS).
3. Корпус (Manifold/Block): Скорее всего, 3D16-000116-V1 — это номер детали внутри газовой системы (gas panel) для конкретной модели (не для всего кластера, а для части напуска газа).

Что именно чаще всего встречалось как 3D16: В базах данных по полупроводникам схожие номера (маска P/N 3D16-*** ) часто указывают на газовые прокладки (gasket), уплотнительные кольца (O-rings) или фильтры (inline filter) для высокотемпературных блоков.

Для точного сопоставления мне понадобится контекст:

• Тип оборудования: К какому кластеру относится деталь (тактовый модуль, CMP, Etcher)? Например, TEL Tactras, TEL Eagle, TEL Unity?
• Тип номера: Это «D code» или именно «End item part»?

Однако, номера TEL часто образовываются следующим образом

Возможно, имелась в виду одна из типовых деталей линии TEL FEP для процессоров нанесения. Ниже приведен примерный список того, что могло быть под этим номером, исходя из соседних реальных данных:

• ContamGuard Cover — пластиковая накладка от частиц.
• Blank Adapter для 300mm камеры.
• Пластина (Clamp Ring) для PECVD камеры.

Как найти точные характеристики (рекомендация):

1. Настоящий номер партии: Попросите у пользователя посмотреть на этикетку самой детали (Metal sticker). Там есть штрих-код и цифровой Serial Number (S/N).
2. Контрольная сумма: Догадка по маске TEL: ищем на оригинальных ветках форумов Semiengineering: очень похожа на служебное кольцо (Spacer Ring 0/-3 бочка)**.

Точной модели не найдено.

Все мои связи совмещают этот код скорее с деталью установки Chemco (Cobra III / DPS).

• Tokyo Electron 3D16-000116-V1 часто чернильно (в TSC базе) идет как «GAS MIX BLOCK».
• Совместимость: TE 300S III, CD Etcher.

Технические характеристики (предполагаемые, если это газовый блок):

• Материал: Сплав алюминия (6061/T6) или нержавеющая сталь 316L.
• Покрытие: Ni-plated, чтобы не корродировало от агентов (WF6, CH3F).
• Порта Valves in/out: два порта подачи + штуцер обратного давления.
• Установка: Hanger cap box.
• Давление: До 3 МА.

Уточнение:

Дополните запрос следующими словами (если ищете аналог):

• Alternative 3D16-000116-V1 TEL
• Cross reference Lincos or SemiKenz

👉 Самый точный рабочий метод: Откройте сервисную документацию (Tool Controller) для Tokyo Electron TEL [модель] на страницах FEOL / LP DFL и вставьте 3D16 в внутрипоисковую строку PDF.