Tokyo Electron 885-64-000

Описание

Tokyo Electron 885-64-000 — это OEM-компонент для оборудования плазмохимического осаждения (PECVD) и травления производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности. Деталь относится к категории расходных/сменных компонентов камеры (gas line / valve / fitting assembly в зависимости от конфигурации), обеспечивающих подачу и регулирование технологических газов в реакторе.

Компоненты с парт-номерами формата 885-XX-XXX традиционно используются в платформах TEL для 200 мм и 300 мм пластин, в частности в линейках Telius, Tactras, Clean Track и системах CVD/Etch.

Технические характеристики (типовые)

⚠️ Точные данные зависят от конкретной модификации. Ниже — обобщённые параметры для компонентов этой серии.

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Парт-номер | 885-64-000 | | Тип | Сменный узел газовой системы / фитинг / клапан | | Материал | Нержавеющая сталь SUS316L (VCR-совместимая) | | Рабочее давление | до 0,7–1,0 МПа (типовое) | | Рабочая температура | –20 … +80 °C (типовое) | | Совместимые газы | SiH₄, NH₃, N₂O, CF₄, O₂, Ar, N₂ | | Класс чистоты | UHP (Ultra High Purity), очистка < 1 ppb | | Присоединение | VCR / Swagelok / TEL-патентованный разъём | | Уплотнение | Металлическое (gasket) | | Ресурс | ~ 1–2 года при штатной эксплуатации |

Аналоги и парт-номера

Компоненты этой серии часто взаимозаменяемы и поставляются под несколькими номерами в зависимости от ревизии:

• 885-64-000 (базовый)
• 885-64-001
• 885-64-002
• 885-640000-A
• TEL 885-64-XXX — серия (последние 3 цифры = ревизия)
• 885-64-000R — refurbished

Дополнительно могут встречаться cross-reference номера сторонних поставщиков:

• MKS / Brooks / Swagelok — аналоги фитингов (по присоединению)
• Pfeiffer / VAT — для клапанных узлов

Совместимое оборудование (модели TEL)

| Платформа | Назначение | |---|---| | Telius SCCM / SCCM+ | Системы CVD/Etch 300 мм | | Tactras | Установки травления и осаждения | | Clean Track ACT 8 / ACT 12 | Треки литографии | | Clean Track Lithius / Lithius Pro | 300 мм треки | | UNITY / UNITY Me | CVD системы 200 мм | | Trias / Trias+ | Системы плазменной обработки | | INDY / INDY Plus | R&D установки |

Точную совместимость необходимо подтверждать по Bill of Materials конкретной установки, т.к. один и тот же парт-номер может применяться в нескольких узлах.

Рекомендации

• Для заказа проверяйте ревизию (последние 3 знака) — они не всегда взаимозаменяемы.
• Оригинальные компоненты TEL маркируются лазерной гравировкой на корпусе + голограмма.
• При замене обязательна процедура helium leak check и particle check.
• Официальный канал поставки — только через TEL / авторизованных дистрибьюторов (например, TEL America, TEL Europe, TEL Korea).

Если у вас есть даташит или фото компонента — могу уточнить характеристики, подобрать конкретный аналог или составить заявку для закупки. Также уточните, для какой модели установки он нужен — тогда дам точный cross-reference.