Tokyo Electron 914979-001 — Описание и технические характеристики

Описание

Tokyo Electron 914979-001 — это оригинальная запасная часть (компонент) для промышленного оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Деталь применяется в установках травления, осаждения, литографии или CVD/PVD-системах компании Tokyo Electron (TEL).

Как правило, парт-номер 914979-001 относится к категории расходных и быстроизнашиваемых компонентов (например, уплотнения, керамические/кварцевые элементы, держатели пластин, фитинги, насадки gas-линий и т.п.). Точная природа детали зависит от конкретной серии оборудования.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые каталожные данные по внутренним парт-номерам. Для точной идентификации детали (материал, чертёж, назначение) требуется доступ к сервисной документации TEL или запрос через авторизованного дистрибьютора.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 914979-001 | | Категория | Запасная часть / расходный компонент | | Область применения | Полупроводниковое оборудование (Etch / CVD / PVD / Coater-Developer) | | Материал | Зависит от типа детали (кварц, керамика, PTFE, нерж. сталь, алюминий) | | Совместимость | Определяется по серии установки TEL | | Страна производства | Япония | | Упаковка | Оригинальная заводская (антистатическая при необходимости) | | Условия хранения | Сухое помещение, класс чистоты ISO |

Точные значения (габариты, допуски, чистота поверхности, температурный режим) указываются в сервис-мануале конкретной модели.

Парт-номера (возможные кросс-референсы)

Парт-номер 914979-001 может встречаться в следующих вариантах написания и аналогах:

• 914979-001 (базовый)
• 914979001 (без дефиса)
• 914979 001
• TEL 914979-001
• 914979-01
• Аналоги от сторонних поставщиков: заменители с маркировкой Aftermarket / OEM-equivalent (совместимость подтверждать по чертежу)

Прямые аналоги от других производителей официально не публикуются — деталь привязана к конструкции TEL.

Совместимые модели

Парт-номер используется на установках Tokyo Electron следующих серий (неполный перечень — требует подтверждения по сервис-мануалу):

• Tokyo Electron CLEAN TRACK (серии ACT, LITHIUS, LITHIUS Pro)
• Tokyo Electron UNITY (платформы Etch/Deposition)
• Tokyo Electron Telius (CVD/ALD)
• Tokyo Electron Triase (системы отжига)
• Tokyo Electron Alpha (серии для эпитаксии/травления)

⚠️ Конкретная привязка 914979-001 к модели должна быть подтверждена:

1. По сервисной документации TEL (частные каталоги).
2. Через официальный сервис-центр Tokyo Electron.
3. Через поставщика запчастей по запросу с фото детали.

Рекомендации по приобретению

1. Запросите проверку совместимости у продавца (укажите модель вашей установки и серийный номер).
2. Требуйте сертификат происхождения (оригинал TEL vs aftermarket).
3. Для критичных процессов (etch, CVD) используйте только оригинальные компоненты — риск загрязнения камеры.
4. Хранение и установка — в условиях чистого помещения.

Если укажете конкретную модель установки TEL (например, LITHIUS Pro i+, UNITY Me+ и т.д.), можно точнее определить назначение детали и подтвердить совместимость.