Tokyo Electron A5P / A5J — Описание, характеристики, парт-номера и совместимость

Важное замечание: Tokyo Electron (TEL) — японский производитель оборудования для полупроводникового производства. Модули серии A5P и A5J относятся к платформам Clean Track (линия нанесения фоторезиста / проявления ACT-серии). Публичные даташиты на эти компоненты ограничены, поэтому ниже приведена обобщённая справочная информация. Точные ревизии и парт-номера необходимо подтверждать у TEL или у поставщика запчастей (например, у дилеров refurbished-оборудования).

1. Описание

Tokyo Electron A5P / A5J — это сменные диспенс-модули (nozzle/coater dispense units), применяемые в трековых системах TEL серии ACT / CLEAN TRACK (например, ACT-8, ACT-12, Clean Track Mark V, Mark 7, Mark 8 и родственные). Они отвечают за:

• подачу фоторезиста (или иного химического реагента) на пластину;
• точное дозирование через сопло;
• поддержание температуры и вязкости химии;
• интеграцию с системой управления роботом-манипулятором трека.

Различие A5P и A5J обычно связано с типом/конфигурацией насоса, сопла или канала подачи (P — Photoresist / Pump, J — вариант под конкретный химический порт или ревизию). Это влияет на совместимость с конкретной моделью трека.

2. Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Назначение | Диспенс фоторезиста / химреагента | | Тип привода | Пневматический / шаговый насос (зависит от ревизии) | | Рабочее давление | ~0.1–0.3 МПа (сжатый воздух N₂), уточнять по ревизии | | Дозируемый объём | От нескольких мкл до мл (зависит от сопла) | | Совместимые химии | Фоторезисты POSI/NEGI, ARC, антирефлективные покрытия | | Материал контактных частей | PTFE, PFA, нерж. сталь (электро-полированная) | | Температурный режим | ~20–25 °C (термостабилизация опционально) | | Интерфейс | Пневматический + электрический к контроллеру трека | | Габариты / масса | ~200×150×300 мм / ≤ 3 кг (ориентировочно) |

(Конкретные значения зависят от парт-номера — их нужно запрашивать в TEL.)

3. Парт-номера (ориентировочные)

Точный список парт-номеров TEL держится в закрытых каталогах. Формат номеров TEL обычно выглядит так:

TEL <серия> - <код узла> - <ревизия>

Примеры возможных обозначений для A5P/A5J-семейства:

| Парт-номер (пример формата) | Описание | |---|---| | A5P-xxxxx-xx | Диспенс-модуль A5P, базовая ревизия | | A5J-xxxxx-xx | Диспенс-модуль A5J, базовая ревизия | | A5P-XXXXX-01/-02/-03 | Ревизии под разные типы сопел | | 2F-xxxxx-xx | Часто встречающийся префикс узлов Clean Track | | 4023-xxxxx-xx | Альтернативный формат для узлов ACT-серии |

Рекомендация: для точного парт-номера запрашивайте у TEL Field Service или у поставщика запчастей (Surplus/Refurb): e.g. TEL Service, APCT, M+W, SurplusGLOBAL, SemiGroup — по VIN/serial трека.

4. Совместимые модели (типовые)

Серия модулей A5P/A5J наиболее часто встречается в следующих платформах TEL:

• TEL CLEAN TRACK ACT-8 (все ревизии)
• TEL CLEAN TRACK ACT-12
• TEL CLEAN TRACK MARK V
• TEL CLEAN TRACK MARK 7
• TEL CLEAN TRACK MARK 8 / 8E
• TEL CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro (в отдельных конфигурациях)
• TEL CLEAN TRACK ACT-12 D-Series

Также совместимость может быть с системами:

• TEL Formula (для обработки 300 мм)
• TEL Cellar / iCS / iNOVA — как периферия диспенса

5. Что нужно для точной идентификации

Чтобы подобрать точный парт-номер и подтвердить совместимость, запросите:

1. Модель и серийный номер трековой установки.
2. Ревизию модуля (наносится на корпус).
3. Тип химии (фоторезист / ARC / TOPCOAT).
4. Тип сопла и способ дозирования.
5. Чертеж/схему узла от TEL.

Если укажете конкретную версию трека (например "TEL CLEAN TRACK ACT-12, установка №..., серийник..."), смогу точнее сориентировать по возможным парт-номерам и вариантам замен.