Tokyo Electron BB81-000002-11

Описание

BB81-000002-11 — это OEM-компонент (запасная часть) производства Tokyo Electron Limited (TEL) — японского производителя оборудования для полупроводниковой промышленности. Деталь используется в промышленных установках TEL для обработки пластин (wafer processing), в частности в системах нанесения фоторезиста/проявления (Coater/Developer), травления и CVD/PVD.

Компоненты с парт-номерами серии BB81-XXXXXX-XX относятся к категории механических/электрических узлов и расходных деталей. Типовая номенклатура таких деталей включает:

• прецизионные роботизированные узлы и захваты (end effector);
• вакуумные клапаны и пневматические компоненты;
• датчики (сенсоры положения, pressure sensors);
• узлы нагрева/термостатирования;
• керамические и кварцевые детали;
• платы управления и электронные модули;
• кабельные сборки и коннекторы.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует в открытом доступе полные технические описания внутренних парт-номеров — эта информация доступна только авторизованным сервисным партнёрам и через OEM-каталоги по подписке (TEL e-Service, MyTEL). Поэтому для точной идентификации детали рекомендуется обращаться напрямую в TEL или к их официальным дистрибьюторам.

Технические характеристики (типовые для компонентов данной серии)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (日本), Япония | | Парт-номер | BB81-000002-11 | | Тип детали | OEM spare part (механический/электрический узел) | | Совместимость | Установки TEL серий Clean Track, Alpha, Lithius, ULTIMA и др. | | Рабочая среда | Чистая комната (cleanroom class 1–100) | | Материалы | Нерж. сталь, алюминий, PEEK, керамика (зависит от узла) | | Условия хранения | Сухое помещение, защита от статики (ESD) | | Оригинальность | Oригинал TEL (OEM), возможны refurbished-варианты |

Точные характеристики зависят от конкретного узла и подтверждаются только документацией TEL.

Парт-номера (связанные/аналогичные)

Серия BB81 в каталогах TEL обычно включает порядка сотен парт-номеров разного назначения. Ближайшие известные форматы:

• BB81-000002-01 … -20 (вариации одной группы узлов)
• BB81-000001-XX
• BB81-000003-XX
• BB81-000256-XX
• BB81-001XXX-XX

Точные аналоги/замены BB81-000002-11 определяются по кросс-референсу в TEL e-Service или через запрос в сервисный центр.

Совместимые модели

Детали с парт-номерами серии BB81 устанавливаются преимущественно в следующих платформах Tokyo Electron:

| Платформа | Назначение | |---|---| | Clean Track ACT 8 / ACT 12 | Coater/Developer | | Clean Track Lithius / Lithius i+ | Coater/Developer (300 мм) | | Clean Track Alpha 8SE | Coater/Developer | | Clean Track Mark 7 / Mark 8 | Coater/Developer и др. | | TELFORMULA | Система управления техпроцессом | | UNITY / UNITY Me | Платформы для эпитаксии и др. | | TRIAS / Telius | Установки плазменного травления | | INDY / ULTIMA | CVD/PVD |

Применимость именно BB81-000002-11 к конкретной модели должна подтверждаться по сервисному мануалу соответствующей установки (Equipment Manual / Parts List).

Где получить точную информацию

1. TEL e-Service (MyTEL) — закрытый портал для клиентов и сервис-партнёров.
2. Официальные дистрибьюторы TEL в регионе (например, в Азии — TEL Tokyo, в Европе — TEL Europe).
3. Refurbished-поставщики полупроводникового оборудования, которые часто публикуют кросс-листы (например, SurplusGLOBAL, SEMI Source, Chipfind).
4. Serive-провайдеры (Cimetrix, NeoSem) — при заказе обязательно проверяют применимость по серийному номеру инструмента.

💡 Рекомендация. Поскольку конкретная деталь BB81-000002-11 не описана публично, при закупке/замене нужно указать:

• серийный номер установки TEL;
• модель/no. стола (chamber, PM);
• фотографию детали и её маркировку на корпусе.

Это критично, т.к. под одним парт-номером у TEL может выпускаться несколько ревизий, отличающихся по коннекторам или длине кабеля.