Техническая информация по запросу "BC930292"

⚠️ Важное уведомление

Парт-номер BC930292 не является стандартным форматом для продукции Tokyo Electron (TEL). Это может быть:

• Внутренний номер из системы конкретного заказчика (MES/CMMS)
• Номер кастомной или снятой с производства детали
• Опечатка или неполный номер

Ниже приведена справка по Tokyo Electron (TEL) и их системам, где может встречаться подобный номер, с рекомендациями по поиску.

О компании Tokyo Electron

Tokyo Electron Limited (TEL) — японский производитель оборудования для полупроводниковой промышленности, один из крупнейших в мире. Основные направления:

• Coater/Developer (треки) серии CLEAN TRACK
• Etch systems (плазменное травление)
• CVD/ALD/ Oxidation (диффузия, осаждение)
• Cleaning systems
• Probe testers (тестирование пластин)

Возможные серии оборудования TEL с подобной маркировкой

| Серия | Назначение | Типичные модули | |-------|------------|-----------------| | CLEAN TRACK ACT 8/12 | Photoresist coat/develop | Spin coater units, HMDS, hot plates | | CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro | Coater/Developer | CHM (solvent), CAS, PEB, CP cups | | TELINDY / TELFORMULA | Batch furnace / ALD | Boat, injectors, pumps | | Tactras | Etch | Chamber parts | | CELLESTA / UD-х series | Уборка/снятие загрязнений | Robot arms, spin units |

Парт-номера TEL обычно содержат:

• Например: 0302-XXXXX-XX, 7000-XXXXX, 4-XXXXXX-XX, ZTxxxxxxxx
• Внутренние PN также часто имеют вид A1234-56-789AB

Номер BC930292 похож скорее на внутренний (buyer/outsource code) или на номер из системы аттестации расходников (consumables/SPC parts).

Технические характеристики (типовая деталь для coater/developer TEL — для справки)

Если речь о компоненте CLEAN TRACK (наиболее распространённый запрос с такими номерами):

| Параметр | Значение | |----------|----------| | Тип компонента | Механическая/обрабатывающая деталь (например, chuck, cup, nozzle) | | Материал | PTFE, PEEK, алюминий с покрытием, керамика, SS316 | | Совместимость с химией | Фоторезист, PGMEA, OK73, TMAH 2.38% | | Рабочая температура | +23…+180 °C (в зависимости от модуля) | | Класс чистоты среды | Спецификация cleanroom class 1/10 | | Точность обработки | ± 5–20 µm | | Ресурс (циклы) | Стандартно 3–12 месяцев |

Это усреднённая спецификация; точные параметры зависят от конкретной детали, скрытой под номером.

Парт-номера и совместимые модели — как уточнить

Парт-номера не публикуются TEL в свободном доступе — они выдаются через:

1. TEL株式会社 — oficial portal tel.com
2. TEL Field Solution (TFS) и сервисный портал для клиентов
3. Наименование через системы OEM: например, номера для Lithius имеют форматы PB02-xxxx, для ACT8 — 6670-xxx

Совместыми могут сответствовать (ориентировочно):

| Класс поставки | Частичные области совместимости | |----------------|-------------------------------| | Аналоги Z-Chuck / Spin Chucks | ACT8, ACT12, Lithius | | Nozzles (DP/DF) | CLEAN TRACK LCD/Lithius | | Cups + Li exhaust parts | ACT8/12, DMD | | Hot plate heater plates | Lithius, ACT |

Известные аналоги/кросс-референс по терминам (если BC930292 =

— кастомная спецификация — возможно к узлу HMDS/vapor & Bake module или CP Coat cup), совместимость скорее следующая:

• CLEAN TRACK ACT 8 / ACT 12
• CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro / Pro II/Z
• TEL TR7000
• Иногда Coater/Developer CLEAN TRACK GM (Mark)

🔍 Как найти точную информацию по BC930292

1. Проверьте инвентарные системы заказчика (ERP/SAP/Baan): обычно хранится кросс-ссылка на OEM-номер TEL.
2. Обратитесь в TEL Service напрямую с фото/маркировкой шильдика. Nihon TEL техподдержка: tel.co.jp, European: tel.com/europe, USA: tel.com/usa.
3. Проведите поиск по номерам семейства:
   • Google: "BC-930292" TEL
   • "BC" TEL "CLEAN TRACK" chamber/cup/nozzle
4. Ассоциация с номером: "BC___ " часто internal build-code от дистрибьюторов запчастей (например, у некоторых MRO-супъллерс в Азии и США)

Скриншот шильдика / фотография детали и станции (например "Lithius i+", "ACT-12") ускорит поиск. Если приложите — я смогу предположить вероятный PN TEL или функциональный узел более точно.