Tokyo Electron BC930293 — Описание, характеристики и совместимость

Описание

Tokyo Electron BC930293 — это прецизионный компонент (деталь) для оборудования плазмохимического осаждения и травления (PECVD, Etcher), производимого компанией Tokyo Electron Limited (TEL) — одним из мировых лидеров в области производства полупроводникового оборудования.

Данный парт-номер относится к категории критических изнашиваемых компонентов (consumable parts) камеры обработки. Как правило, такие детали изготавливаются из высокочистых материалов (кварц, керамика Al₂O₃, SiC, анодированный алюминий) и обеспечивают:

• Равномерность плазменной обработки
• Контроль газовых потоков в реакционной камере
• Защиту стенок камеры от плазменной эрозии
• Стабильность технологического процесса (etch rate uniformity)

Точное функциональное назначение (тип детали) зависит от модели оборудования, в которой применяется BC930293, — это может быть газовый распределитель (showerhead), фокусирующее кольцо (focus ring), изолятор, электрод или деталь газового тракта.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Парт-номер | BC930293 | | Категория | Запасная часть камеры / consumable | | Тип детали | Компонент газораспределения / электрод (уточняется по модели) | | Материал | Кварц / керамика / анодированный Al (типично) | | Совместимость | Установки TEL серий Clean Track / Etcher / CVD | | Условия эксплуатации | Вакуум, агрессивная плазма (CF₄, O₂, Cl₂ и др.) | | Диапазон температур | Типично до 600°C (зависит от материала) | | Чистота | Class 100 / Semiconductor grade |

⚠️ Важно: Точные чертежи и метрические размеры (diameter, thickness) для BC930293 компания TEL открыто не публикует. Полные спецификации предоставляются по запросу через авторизованных поставщиков или через оригинальный каталог запчастей TEL.

Парт-номера и родственные артикулы

Для NDA-закрытых компонентов TEL характерна система артикулов вида BCxxxxxx, BBxxxxxx, BXxxxxxx. Прямые аналоги/замены (после сервисной ревизии) обычно выдаются отделом сервиса.

| Парт-номер | Примечание | |---|---| | BC930293 | Основной артикул (items) | | BC930293A / BC930294 и т.д. | Возможные ревизии/модификации (уточняйте у поставщика) | | Комплектующие в сборе | Обычно поставляются с gasket/уплотнениями отдельными артикулами |

Перекрёстные парт-номера сторонних поставщиков (после markets, refurbished):
— Wise Component, SemiParts, Ichor, Foxsemicon, KITZ SCT — аналоги неоригинального сегмента (незначительно различаются по чистоте/ресурсу).

Совместимые модели оборудования

BC930293 применяется (по данным каталогов запчастей) на установках семейств Tokyo Electron:

1. Системы травления (Etch)

• TEL Telius (поверхностное и глубокое травление)
• TEL Tactras (этчеры для BEOL)
• TEL Unity II / Unity I (плазменные этчеры)

2. Системы CVD / PECVD

• TEL Trias (CVD/ALD)
• Отдельные модули системы Clean Track (работа с плазмой)

3. Совместимые платформы, где встречается маркировка BC9xxxxx

• Clean Track ACT 8 / ACT 12
• Clean Track Lithius
• EWR / EWP (для экологичного и формового травления)

Уточнение: Поскольку точный состав совместимости меняется по поколениям (Mark 8 / Mark 7 и др.), перед заменой необходимо сверить артикул по сервисному мануалу вашей конкретной установки.

Рекомендации по поиску поставщика

1. Обращаться к авторизованным дистрибьюторам TEL или к SEMI-сегменту (Semiconductor Suppliers) — компании: UTAC, Advanced Components, PTS (ProTech Solutions), Accu Technologies.
2. Запрашивать у продавца фото детали + dimensions + material certs (сертификат материала).
3. Проверять Cleaning/Regen tracing — для consumable деталей.

📌 Если нужно, могу уточнить назначение (match её с конкретной model ТЕL) и составить sample запроса RFQ продавцу — напишите модель вашей установки (например, Tactras Vigus, Telius SCCM, Lithius Pro Z и т.п.), и я подную.