Техническая информация: Tokyo Electron BX81-070005-13

Описание

Tokyo Electron BX81-070005-13 — это компонент/запасная часть для промышленного полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для производства полупроводников (травление, CVD, PVD, нанесение фоторезиста, очистка пластин и др.).

Такие парт-номера обычно относятся к следующим категориям деталей:

• Механические узлы и фитинги (крепёж, переходники, кронштейны)
• Пневматические/вакуумные компоненты (клапаны, фитинги, трубки)
• Электрические разъёмы, кабельные сборки, датчики
• Детали камеры (уплотнения, изоляторы, сопла, showerhead-компоненты)

⚠️ Важно: BX81 — это внутренний TEL part number (не каталожный номер производителя OEM). Точное описание доступно только по внутренней сервисной документации TEL или у авторизованных дистрибьюторов запчастей (например, через сервисные центры TEL или third-party поставщиков — Applied Materials Parts, SurplusGLOBAL, Connexx, SemiSource и т.д.).

Технические характеристики (типовые для компонентов серии BX81)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Part Number | BX81-070005-13 | | Категория | Запасная часть / компонент оборудования | | Совместимость | Зависит от конкретной платформы TEL | | Материал | Как правило — нерж. сталь, алюминий, PFA/PTFE, керамика | | Условия эксплуатации | Чистые помещения (cleanroom) класс 100–1000 | | Температура | В зависимости от узла (обычно 15–80 °C для механики/пневматики) |

(Точные данные — только по официальной спецификации TEL, так как внутренние парт-номера не публикуются в открытом доступе.)

Перекрёстные парт-номера

Из-за закрытости внутренней номенклатуры TEL прямых cross-reference номеров в открытом доступе нет. Для получения аналогов/замен используются:

| Namber поставщика | Назначение | |---|---| | TEL BX81-070005-13 | Оригинальный внутренний номер TEL | | Аналог OEM (возможно) | Подбирается по чертежу/спецификации |

Рекомендуется обращаться к следующим источникам для cross-reference:

• Сервисный департамент TEL (через локальное представительство)
• SurplusGLOBAL, SemiSource, CJ Trade, Ryosan, Marubeni — third-party дистрибьюторы запчастей
• SAP/ERP-системы производителей оборудования — при интеграции

Совместимые модели

Внутренние детали TEL с префиксом BX81 обычно используются в платформах для:

• TEL CLEAN TRACK (со-ведение треков для нанесения/проявки фоторезиста):
  • CLEAN TRACK ACT 8, ACT 12
  • CLEAN TRACK LITHIUS, LITHIUS Pro, LITHIUS Pro V, LITHIUS Pro Z
  • CLEAN TRACK MARK 7, MARK 8
• TEL α-серия (coater/developer):
  • Alpha 8SE, Alpha 8SQ
• TEL etching systems — в отдельных узлах
• TEL Telius / Trias — платформы CVD/ALD

Совместимость желательно подтверждать по конкретному серийному номеру оборудования — TEL часто меняет ревизии компонентов внутри одной платформы.

Как точно идентифицировать деталь

1. Запросить BOM/drawing по номеру BX81-070005-13 в сервисной системе TEL.
2. Проверить физическую маркировку на самой детали (иногда литейный номер отличается).
3. Связаться с поставщиком запчастей с указанием:
   • Полного парт-номера
   • Модели и S/N инструмента
   • Фото компонента

Если вы предоставите фото детали или модель установки TEL, могу уточнить назначение и подсказать направление поиска более конкретно.