Tokyo Electron CT2985-428252-16

Описание

Tokyo Electron CT2985-428252-16 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в области производства оборудования для полупроводниковой промышленности.

Данный артикул относится к категории прецизионных деталей, используемых в установках TEL для обработки пластин (wafer processing equipment). Компоненты с подобной маркировкой обычно представляют собой детали газораспределительных систем, узлов вакуумной оснастки, клапанов, фитингов или элементов камеры обработки, выполненных из высокочистых материалов (нержавеющая сталь, PTFE, керамика), совместимых с агрессивными химическими средами и условиями высокого вакуума.

Компонент предназначен для использования в чистых помещениях (cleanroom) и соответствует требованиям полупроводникового производства по чистоте, герметичности и термостойкости.

⚠️ Примечание: Tokyo Electron не публикует полные спецификации на уровне отдельных парт-номеров в открытых источниках. Для получения точной документации (datasheet, чертежи, сертификаты) рекомендуется обращаться к официальным дистрибьюторам TEL или в сервисные центры.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | CT2985-428252-16 | | Тип компонента | Запасная часть / прецизионный узел | | Материал | Нержавеющая сталь / PTFE / керамика (уточняется по спецификации) | | Применение | Оборудование для полупроводникового производства | | Совместимость со средами | Агрессивные газы, плазма, высокий вакуум | | Класс чистоты | Cleanroom-совместимый | | Рабочая температура | Зависит от узла (уточняется) | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (Part Numbers)

Линейка родственных артикулов TEL с префиксом CT2985 включает (типовые варианты):

• CT2985-428252-16
• CT2985-428252-XX (модификации)
• CT2985-XXXXXX-XX (семейство артикулов)

Точный список кросс-номеров и замен предоставляется техническим специалистом TEL.

Совместимые модели оборудования

Компоненты с маркировкой CT2985 традиционно применяются в следующих сериях установок Tokyo Electron:

| Серия | Назначение | |---|---| | TEL CLEAN TRACK (ACT8, ACT12, LITHIUS, LITHIUS Pro) | Установки трекинга фоторезиста | | TEL Triase+ | Установки нанесения/проявки | | TEL Alpha | Установки литографии | | TEL Tactras | Установки плазменного травления | | TEL PRO / PRO Z | Установки CVD/ALD | | TEL INDY | Установки осаждения | | TEL CELLESTA | Установки для производства LCD/OLED |

Совместимость с конкретной моделью необходимо подтверждать по сервисному мануалу установки.

Рекомендации по заказу

1. Проверка совместимости — сверить парт-номер с электрическими и механическими спецификациями вашей установки.
2. Официальные каналы — заказ через авторизованных дистрибьюторов TEL или сервисные центры.
3. Документация — запросить Cert of Conformance (CoC) и чертежи.
4. Альтернативы — при недоступности артикула уточнить у TEL актуальный заменяющий номер.

Если вы уточните, для какой именно установки (модель, год выпуска) нужен этот компонент, я смогу дать более точную информацию по совместимости и возможным аналогам.