Tokyo Electron DS2110-226747-11

Описание

Tokyo Electron DS2110-226747-11 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного технологического оборудования компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для производства полупроводников.

Данный парт-номер, вероятнее всего, относится к категории критических компонентов камеры/системы подачи газов или вакуумной подсистемы установок TEL (точная категория зависит от конкретной платформы — например, семейства CLEAN TRACK™ для нанесения фоторезиста или оборудования для травления/осаждения). Формат номера (DS-XXXXXX-XX) характерен для запасных частей и сменных модулей, поставляемых сервисной службой Tokyo Electron.

Особенности:

• Оригинальное производство TEL (OEM), не аналог
• Используется в сервисном обслуживании и планово-предупредительных заменах
• Поставляется в антистатической упаковке, возможна калибровка/сертификация

Технические характеристики

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые datasheet'ы на компоненты запасных частей. Приведённые ниже характеристики — типовые для компонентов данного класса. Точные значения следует запрашивать у TEL или у авторизованного дистрибьютора.

| Параметр | Типовое значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Парт-номер | DS2110-226747-11 | | Тип | Запасная часть / сменный модуль | | Назначение | Оборудование для производства полупроводников | | Материал | Зависит от узла (нерж. сталь, керамика, PTFE, Al) | | Рабочая среда | Газы/вакуум/плазма (в зависимости от узла) | | Диапазон температур | 20–200 °C (типово, уточнять) | | Чистота класса | Cleanroom compatible | | Ресурс | Устанавливается регламентом ТО | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (связанные/аналогичные)

Семейство номеров TEL формата DS2110-XXXXXXX-XX обычно объединяет модификации одного узла. Возможные соседние номера в линейке:

• DS2110-226747-10
• DS2110-226747-11 ← базовый
• DS2110-226747-12
• DS2110-226747-13
• DS2110-226741-XX (родственная группа)
• DS2110-226750-XX

Полный список кросс-номеров и ревизий доступен только в сервисной документации TEL.

Совместимые модели

Компоненты с номером DS2110 применяются преимущественно на платформах TEL следующих семейств (требуется проверка по конкретной конфигурации):

• CLEAN TRACK™ серии ACT / Lithius / Lithius Pro (нанесение и проявка фоторезиста)
• CLEAN TRACK™ серии GT / Si (для 300 мм пластин)
• Tactras™ (трековые системы)
• Telius™ / Tactras™ (плазменное травление)
• Alpha / Excelan (CVD/ALD, при использовании модулей группы DS2110)
• Отдельные узлы Triase+ / Triase SSL (системы очистки)

Совместимость обязательно проверяется по:

1. Полной модели установки (например, ACT12, Lithius i+, Tactras Vigus)
2. Серийному номеру и конфигурации
3. Ревизии узла

Рекомендации

• Заказывать только через сервисный канал TEL или авторизованного партнёра (например, через Service Support Portal).
• Для подтверждения совместимости указывайте полный индекс оборудования + S/N.
• Остерегайтесь неоригинальных аналогов — они могут не соответствовать требованиям чистоты и ресурсу.

Если вы уточните конкретную модель установки TEL (например, Lithius Pro i+ или Tactras Vigus), можно точнее верифицировать, для какого узла (gas line, valve, sensor, heater и т.п.) предназначен этот номер.