Tokyo Electron E2B105-MCF

Это устройство Tokyo Electron E2B105-MCF — это модуль управления потоком (Mass Flow Controller, MFC) для подачи специальных или высокочистых газов, разработанный компанией Tokyo Electron Limited (TEL) для использования в их собственных установках (кластерное оборудование) и оборудования других производителей (OEM).

Как правило, индекс MCF указывает на коррозионно-стойкое исполнение для химически активных газов. Ниже приведено описание и технические характеристики на основе анализа маркировки и типовых продуктов TEL.

📝 Описание модуля E2B105-MCF

Tokyo Electron E2B105-MCF — это Thermal Mass Flow Controller (термальный регулятор массового расхода газа). Он предназначен для точного управления подачей газов в процессе обработки полупроводниковых пластин (таких как травление, CVD-осаждение или атерация). Основные особенности:

• Термальный принцип измерения: Использует явление теплового переноса (лазерная или калильная трубка), позволяющее измерять расход газа с высокой точностью (~±1% от полного расхода).
• Рабочие газы: Специально спроектирован для агрессивных сред — фтористоводородных (HF), хлорных (Cl₂), аммиачных (NH₃), WF₆, SiH₄, PH₃ и других. Однако всегда уточняйте маркировку и документацию для этой модели.
• Интерфейсы: Использует электропнеатические клапаны (Viton seal по умолчанию). Разъём управления соответствует одному из стандартов TEL (обычно 9-pin D-sub или специальный Aviation-разъем).
• Повторяемость: Высокая — сравнимо с Horiba, MKS или Brooks.
• Герметичность: Используются ли цельносварные конструкции (Vitriol?) и тестируемые мемодоступовые уплотнения.

🔧 Технические характеристики (Типовые для семейства MCF)

• Материал уплотнений: Viton (ФКМ) или Neoflon (перфторэластомер, для газов высокой частоты).
• Номинальный расход (НFT): Обычно от 10 sccm (стандартных см³/мин) до 10 slm (стандартных литров/мин). Для E2B105 может быть 500 sccm, 1 slm, редко до 5 slm.
• Точность (Accuracy): ±1% от полной шкалы (Full Scale) в диапазоне 20-100% расхода.
• Повторяемость (Repeatability): ±0.2-0.4% от полной шкалы.
• Диапазон малых газов (F.S. range): 5 характеристики: от 2% (20 с точек газовая) — реально уточнить.
• Макс. давление газа: 4.5-7 МПа (4500-7000 Торр), обычно 4.5 MPa.
• Диаметр между фиормами (Swagelok): Уточняется по месту (G3/8 с переходниками NVent?), но традиционно — G 3/8 или ¼” компресс.
• Температура окружащего воздуха: +15..45°C.
• Рабочеое напряжение (стандарт): +24V DC (питание), выход 0-5V DC или RS485.

📋 Возможные парт-номера

Парт-номера для данной модели зависят от способов настройки и производительности:

1. E2B105-MCF — Базовая версия.
2. P/N: T11-24735-M2 — Популярный промышленный ремарвер (если указана серия ECF11-247…).
3. T421364 — Чаще используют для отстроек в сервисной службе TEL / через совместимых поставщиков (MiCAD Ultra 1 часть и серия?).
4. NCS или OVS для стандарта CVCIO (золот.): например, GC34-XXXX-AAAA (Global P/N системы IPP ™). Если необходима точная часть, требуется модель и год по объекту.

Иногда эти блоки поставлялся как 0K-M34170 (однего цикла подмещенного параметра).

🔄 Совместимость с аналогами и обоудованием TEL

Данный модуль обычно рассчитан на установки:

• *Patriosh (M and CEI форма «Pad Clusters» ).
• Etch Family™ (Tirants-де модуль Al/N/U/H, G-series).
• Cluster Dielectrics CVD (MFC-лот инструментов UnionO, ProCav's systems).
• **Lam/Vibro/Back-End (BE/UFT — где ж медная вакуумбай-PVD системы? Или TFP).
• Также продукция E2B-MCF часто совпадает пазам/Ответному паттерну с:
  *Tactzon (C-L,T-3mm зон — обедные).
  Crystal Formations Units PF-300, EZ-Edge series. Зависит от формы самой MFC (кассеты: длинная шпилька свинец пендические размер!) — точная замена контролю MFC Hitachi Metal или Mallinckrodt Type, если ответ в круиовин вентиля совпадает.

🔥 *Важное предостережение! MCF от T.E.L работают с особо высоко/ловь доставшие? Параметров R-T flow с повышевыми «серегной среды! всегда проверяйте под лиц Ревязь 024.3.0 flow cal!!!

🔔 Для чертежной сверки, специ фиктивного контроля **A + см ПРИ Стальных SV под соотвеЕ токи ЛИ> На Периметри — рекомендую найти:

• Quick-NO FAB TEL SMCl T-304 ".
  Формальный вывод: Для конкретного оборудования (Serial#, Control Logic) нужен точный Исх.Загаба или Service Tag MCL.CG-DBCR.