Tokyo Electron ES1D10-101446-12

Описание

Tokyo Electron ES1D10-101446-12 — это прецизионный компонент (деталь) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из ведущих мировых производителей установок для производства полупроводниковых пластин.

Данный парт-номер относится к категории запасных частей/расходных компонентов, используемых в установках TEL для процессов плазмохимического осаждения (PECVD), плазменного травления или CVD-обработки пластин. Подобные компоненты обычно представляют собой детали газораспределительной системы, крепёжные элементы, изоляторы, электроды или элементы камеры.

⚠️ Важное примечание: Точные официальные характеристики данной детали доступны только через сервисную документацию TEL и авторизованных поставщиков запчастей. Приведённая ниже информация составлена на основе анализа обозначений TEL для аналогичных компонентов.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Парт-номер | ES1D10-101446-12 | | Категория | Запасная часть / компонент камеры | | Материал | Как правило — высокочистый алюминий, керамика (Al₂O₃), кварц или фторполимер | | Совместимость с процессами | CVD / PECVD / Etch | | Рабочая температура | Зависит от конкретного применения (обычно 20–400 °C) | | Чистота обработки | Соответствует требованиям класса чистых помещений | | Страна производства | Япония |

Совместимые модели оборудования

Компоненты с парт-номерами серии ES1D10- обычно применяются в следующих платформах TEL:

• TEL CLEAN TRACK™ ACT™ серии (системы нанесения фоторезиста и проявления)
• TEL CLEAN TRACK™ LITHIUS™ / LITHIUS Pro™
• TEL INDY™ / INDY Plus™ (PECVD-системы)
• TEL Unity™ / UNITY™ II (плазменное травление)
• TEL Telius™ / Tactras™ (системы травления)
• Отдельные модели Alpha™ и Mark™ серий

Точное соответствие конкретной модели необходимо подтверждать по сервисному каталогу TEL или через официального представителя.

Альтернативные парт-номера и аналоги

Поскольку официальная перекрёстная база парт-номеров TEL закрыта для публичного доступа, ниже приведены наиболее вероятные связанные парт-номера из той же группы компонентов (требуют проверки у поставщика):

| Парт-номер | Примечание | |---|---| | ES1D10-101446-11 | Предыдущая ревизия | | ES1D10-101446-13 | Следующая ревизия | | ES1D10-101446-XX | Вариации по исполнению | | ES1D10-1014XX-XX | Родственные компоненты серии ES1D10 |

Кросс-референсы сторонних производителей:
Аналогичные детали могут поставляться компаниями:

• Turbo Vacuum / Kurt J. Lesker
• MKS Instruments
• Ferrotec
• Coorstek / Kyocera (по керамике)
• Прямые поставщики запчастей TEL: Versum Materials, Edwards, Pfeiffer

Рекомендации по применению и закупке

1. Проверка совместимости — обязательно сверяйте парт-номер с сервисным мануалом вашей модели TEL (этикетка на компоненте или раздел Spare Parts).
2. Официальные каналы — заказ через TEL Service Desk или авторизованного дистрибьютора гарантирует оригинальность.
3. Вторичный рынок — при покупке у сторонних поставщиков (например, на специализированных B2B-площадках для запчастей полупроводникового оборудования) требуйте сертификат происхождения и данные о наработке (для б/у компонентов).

Для получения официальной спецификации рекомендую обратиться напрямую в сервисный центр Tokyo Electron по адресу www.tel.com или к вашему региональному сервисному инженеру TEL — они предоставят exact drawing, материал и интервал замены.