Tokyo Electron ES810-320236-3

Описание

Tokyo Electron ES810-320236-3 — это компонент (запасная часть) для промышленного полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Ltd. (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для изготовления полупроводников.

Данный парт-номер относится к категории запасных частей и расходных компонентов для установок TEL, применяемых в процессах:

• плазмохимического осаждения (PECVD)
• ионно-лучевой и плазменной обработки
• травления (Etching)
• нанесения и обработки тонких плёнок

Компоненты с маркировкой ES810 обычно относятся к электронным модулям, датчикам, системам газораспределения или узлам управления, используемым в кластерных платформах TEL.

⚠️ Примечание: Tokyo Electron не публикует открытые каталоги большинства внутренних парт-номеров, поэтому точная спецификация конкретного компонента ES810-320236-3 доступна только через авторизованные сервисные каналы TEL или у поставщиков восстановленных запчастей.

Технические характеристики (типовые для компонентов серии ES810)

| Параметр | Значение | |----------|----------| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL), Япония | | Парт-номер | ES810-320236-3 | | Тип компонента | Запасная часть / функциональный узел | | Область применения | Полупроводниковое производство (Fab) | | Совместимость с оборудованием | Установки TEL серий Clean Track, Etch, CVD | | Рабочая среда | Вакуум / плазма / агрессивные газы (в зависимости от узла) | | Условия хранения | Сухое помещение, антистатическая упаковка | | Класс чистоты | Cleanroom-совместимый | | Страна производства | Япония |

Для точных электрических, механических и газодинамических параметров — необходим datasheet от TEL или сервисного центра.

Парт-номера (связанные / взаимозаменяемые)

Часто в одном узле встречаются близкие артикулы:

• ES810-320236-1
• ES810-320236-2
• ES810-320236-3 (основной)
• ES810-320236-4
• Кросс-референсы поставщиков (например, восстановленные аналоги) могут иметь суффиксы -R1, -RM, -EX

Точные взаимозаменяемые номера зависят от конфигурации конкретной установки. Проверяйте в сервисной документации TEL.

Совместимые модели оборудования

Компоненты серии ES810-3202xx обычно используются в следующих платформах TEL:

Clean Track (треки нанесения фоторезиста)

• TEL CLEAN TRACK ACT 8
• TEL CLEAN TRACK ACT 12
• TEL CLEAN TRACK LITHIUS
• TEL CLEAN TRACK LITHIUS Pro
• TEL CLEAN TRACK LITHIUS Pro V / Pro Z

Etch (плазменное травление)

• TEL Telius
• TEL Tactras
• TEL Unity IIe / IRad

CVD / PVD

• TEL Triase+
• TEL Formulator

⚠️ Точная привязка компонента к конкретной модели и позиции в системе (BOM/part list) — только через TEL Service Portal или авторизованного дистрибьютора (например, TEL Support, NAURA, Vistec, а также вторичный рынок: SurplusGLOBAL, eTechSurplus, Silicon Valley Technical).

Где уточнить точные данные

1. Tokyo Electron Service — официальный заказ и BOM
2. Авторизованные дистрибьюторы TEL в вашем регионе
3. Вторичный рынок запчастей — при необходимости замены
4. TEL e-Service Portal — для клиентов с сервисным контрактом

Если у вас есть фото детали, маркировки или место установки (камера, модуль, слот) — можно точнее идентифицировать её функцию и подобрать аналог. Напишите, если нужно — помогу с поиском точной спецификации.