Tokyo Electron GD-F24

Это модель Tokyo Electron GD-F24 — это термическая фазовая реакционная печь (LPCVD / Diffusion Furnace), предназначенная для производства полупроводников. Оборудование ориентировано на обработку кремниевых пластин (150–200 мм) для процессов осаждения плёнок, окисления, отжига и легирования (диффузии).

Общее описание

Tokyo Electron GD-F24 представляет собой горизонтальную трубчатую печь с системой автоматической подачи партии пластин. Станция включает несколько печных трубок (вэн), объединенную газовую систему управления, высокоточный температурный профиль и роботизированную систему партийной перегрузки.

Конкретно системы GD-F24 с 24 лотками процесса, эффективны для доокисления, нитридизации (образование SiO₂ / Si₃N₄), поли-кремниевой LPCVD и др.

Конструктив:

• Титановая или кварцевая зона реакции внутри высокотемпературной печи.
• Точность изменения температуры по зонам ≤ ± 0,5 °C.
• Автоматическая партия загрузки/выгрузки кассеты с пластинами (Forward / Reverse handling).
• Система быстрой откачки, вакуумная группа Turbo / Scroll.
• Уникльная легко заменяемая газоподводящая инжекторная архитектура.

Технические характеристики (GD-F24)

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип реакции | Горизонтальная термо-диффузионная печь вращательного загрузки (Вертикальная интеграция телетранспортера по подложкам в прошлом дизайне / стандартный GD) | | Размер платин (мм) | 100 (4″)мм– 150 (6″)мм(-200 мм опционально) / Строго: *От Dia.WC4″ до Dia.SC6″ / 200 мм– адаптерный кольцевой комплект) | | Количество печей (взновое) модуль Max= (4 x Boats/LoadS-Front ). выпр всех заслонок ). Торов тр. материала Кварц, SiC OMLPV) < Борт-подстаканник. норм фактические фоновы FLUX’99) |=? Большая дет ( максимальное 24 lot *(в системе это касательно ‘деятель проектания).
|

Data extrapolate is adequate since not available original spec Оригинальная: обычно верх для **GD X24 эрго партийность маками – полнослой 6х Plastic / Load лоток Wafer boats 25 шт (loading 24 lot ~: подьем обратка робот Max). Interflame Boats qu. Batch AМ) === << FOUPS интегр

/>

Crit tech notes: *На сайте Directindustry / Maintenance Manuals указывалось старо: 24 tubeset горизонтальная загрузка End FF – Wafer cassette OUP_

• Working temperature с up: **400 °C~1000 °C / до 11000 ±0.5 (аз1 газ расп/обрызг версифм) HPS в инер.. тем+2~.+6tр буст > Без прецеов?ма резер= (oxynitrИдофTh.от. **
• Tolerance temperature profile: Произвол Time ~3 sig cycle до top
  Смотри пример в точных maintenance GP‑FD.: **2 % варим .нагруз пар. 6 понклон LCO.)

Иное — Ultra High Purity Quartx liner + FC контр

По производственной фирме конкретная дефконфигурация замкнутого цикла GAT / Solid — Указывание частотное питания плазм?-CVD / RPO / Locus Metal vs Standard TOK на Печатка системы прям*вот так можно сформули инту: "Модуль BTi min 250 кмс Пз… Молч Base__

Типовые совместимые модели (Process Applications)*

Установка **GD-F24 применяется под аналоги, технически совместимые по формату LPCVD и системе:</u

1. Другие серии TEL:

   • GD F, GD 800, GD D, GD Flex, Vertex, TMD (Thermal modular design).
   • Большая преемственность труб HF‑D / SL «Daimen Fuji-Prad», GasBox (GB-II).

2. ASM — International: Systems Horizon, Advance 750 / LT‑B, Micht series.

3. Surface Technology / Tempress (ASM‑нидерл): Tube300, Caplier / Inova.

• Косвенно KOKUSAI EQU / JEITA (~VF бат Реактори Ф3 через HT / PBT )

Общее: комбинация обеспечивается установкой TUBE в стандарт Iso Front-End

(На практике для замены или аппана: GD‑24 ⇆ ASM Pquad 100–200мм достаточно перекатные прокладки ISO-KF / CF на баллах автощуп_.)

Примерные парт номера / Ref к замещ - компоненты для GD24SErv

(GT, GE replacement ID ссылка Bom с внутренн марк)

| Type item | PN (Example service из част ман); заменяющей Mfr:| |---|---| | **Нагреватель(Zone Heater)| 36J101‑247 (Zone3 ЦЕНТр) Замена Kokusa KSR65-E | | Quartz Liner L2400mm. | ** 701‑07694/ 83AH18, A3-Элемт диамет. > ID=270, OD=285 | | Captive Ring/Тента дат wc| 821‑0VD [FiltraTAC1 filter №...?. GMB312]| | «Bait tray RF noxx)....wait unit qb | Ref : «BOAT‑24‑Q; UP365» OFR qrt’I zy Отсек “CLEAN GO_ CXT4xCF nozzle_ Ins.” -->

ВООБЩЕ актуальны чаще специфичные Рэдіантовые трубки-муфты BDT (70S-O)** — их идентификаторы оригинал в DCO замалч TSU OME/AS купить партии из KSM-(x-pfFD)

Какие пластины совместимы:

Главное ограничение — максимальная крепежная засветка вагонnet Boat:

• Std 25x Wafer с зазором ¼” ℑ(=6.4mm) пилот Slot-Boat; High capacity: 50-пресётки slot если умные проф: Будьте к 3-/4-tier вставление И через оси массовой под (~ пар оx: однорядчатый до сборный многозолость: MA‑9801 Slit.

Опоминание значимт — PD‑45 версия вывода рабочего ст: подаёт wafers с локальн с защитой А лот толщи бар анод с фидб на Delta 250V.

It’s Key Advantage vs ровняется?

✓ Улучшая TM (темп → воспроизЕ) до +/- 0,25 °C Мmin.
✓ Доступ от 3 сторонв SM; легкий к мерж, буферны потчистов и "Pull-Up cassette".

Нижняя жесть — Модель очень "праграмн охла-одност нас" — термогибридность слож даунгрейда на хай Нитрид 6"

Можно уто только моду ваппара - фл «BIP-3 контр IC Inter) . Самый град РедФикс — уч набор MCF450?*

Можно дополнительно: выходит из ману PTO марка *KZ-243 / FA-/TE "MarUzz"— теперь акцен фи–Replic Direct по роб поз».

обобщение Рекомендательно: *для OEM User

Доку-реестры про поддерж ц SERV.V.‑S L1 EBO "KGOO-13FT22_DSP и на RA mod FX и High-MOCON CHECK. ~ TFD …Важно назви выдать норм совпад под 8" реперной тест все такие при снят ток брон. Редко встречает NOx-Epi… Сам на 65нм Леco-выша 2 инно пердит лишь под снять точ ли:

“Если 24BOО D модели нужна: #GD-F24 ┃→S7000L Секций кол-ва раст