Tokyo Electron HA-017 — Описание, характеристики и совместимость

Описание

Tokyo Electron (TEL) HA-017 — это компонент оборудования для полупроводникового производства, используемый в установках компании Tokyo Electron. Наиболее часто данная позиция встречается в системах coater/developer (нанесение фоторезиста и проявка) серий CLEAN TRACK — например, в моделях ACT-8, ACT-12, CLEAN TRACK MARK IV, MARK V, MARK 7, MARK 8 и их модификациях.

HA-017 обычно поставляется как сборочный узел/запасная часть (spare part/assembly) и может относиться к одной из следующих категорий в зависимости от конкретной конфигурации оборудования:

• узел пневматики/вакуумной системы;
• компонент системы подачи химии (HMDS, фоторезист, проявитель);
• часть роботизированной системы транспортировки пластин (handler);
• узел нагрева/температурного контроля (hot plate модуль);
• электромеханический привод/актуатор.

⚠️ Важно: Tokyo Electron использует внутреннюю номенклатуру, и один и тот же «HA-017» может встречаться с разными суффиксами/префиксами (например, HA-017-1, HA-017A и т. п.). Для точной идентификации конкретного узла необходима привязка к парт-номеру из сервисной документации или шильдика на детали.

Технические характеристики

Так как HA-017 — это внутренний сервисный код TEL, точные параметры зависят от модификации. Типовые характеристики для узлов этой категории:

| Параметр | Значение (типовое) | |---|---| | Тип компонента | Сборочный узел / spare part | | Совместимая среда | Чистая комната класса ISO Class 1–10 | | Материалы | Нержавеющая сталь, PFA/PTFE, алюминий с покрытием | | Рабочая температура | 20–200 °C (в зависимости от узла) | | Рабочее давление (пневматика) | 0.4–0.6 МПа | | Вакуум | до −80 кПа | | Рабочее напряжение | 24 V DC / 100–200 V AC (зависит от модуля) | | Совместимые пластины | 200 мм / 300 мм | | Класс точности позиционирования | ±0.1 мм (для механических узлов) |

Точные параметры — только по сервисному мануалу TEL для конкретной модели установки.

Парт-номера (Part Numbers)

Из-за закрытости номенклатуры TEL наиболее распространённые обозначения, встречающиеся в сервисных каталогах:

• HA-017
• HA017
• HA-017-1 / HA-017-01
• HA-017A / HA-017B (ревизии)
• TEL P/N: 2xxxxx-xx — конкретный код формируется в формате TEL (обычно 7-значный с дефисом)

📌 Для получения актуального парт-номера обратитесь в Tokyo Electron Service или к авторизованным дистрибьюторам запчастей (например, через сервисные центры TEL в Японии, США, Европе, Азии).

Совместимые модели

HA-017 чаще всего фигурирует как запчасть для установок CLEAN TRACK и связанных систем:

| Серия | Модели | |---|---| | CLEAN TRACK ACT | ACT-8, ACT-12 | | CLEAN TRACK MARK | MARK IV, MARK V, MARK 7, MARK 8 | | CLEAN TRACK LITHIUS | LITHIUS, LITHIUS Pro, LITHIUS Pro V, LITHIUS Pro Z | | CLEAN TRACK TACTAS | TACTAS | | Прочие | Отдельные модули для EUV/ArF coater-developer систем |

Также деталь может быть совместима с:

• установками Telius и Lithius i+
• модулями HMDS и hot plate станций
• системами wafer handling в coater/developer линиях

Рекомендации

1. Не заказывайте по одному коду HA-017 — обязательно уточните ревизию и полный парт-номер у поставщика.
2. Запросите сервисный мануал TEL для вашей модели (ACT/MARK/LITHIUS).
3. При замене проверяйте совместимость ревизии — узлы разных лет выпуска часто не взаимозаменяемы.
4. Официальные каналы: Tokyo Electron Limited, региональные сервисные центры, авторизованные поставщики запчастей.

Если вы укажете точную модель установки (например, CLEAN TRACK ACT-12 или LITHIUS Pro Z) и полный парт-номер с шильдика, смогу дать более конкретное описание и список совместимости.