Tokyo Electron M-120-01

Описание

Tokyo Electron M-120-01 — это компонент/запасная часть (парт-номер) для промышленного оборудования компании Tokyo Electron Limited (TEL) — японского производителя оборудования для полупроводниковой промышленности. TEL является одним из крупнейших в мире поставщиков установок для травления, осаждения, очистки и литографии пластин.

Компоненты с маркировкой серии M-120 обычно относятся к узлам газораспределительных систем, масс-флоу контроллеров (MFC), фитингов, клапанов или датчиков, применяемых в установках плазменной обработки (например, в системах etch и CVD).

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Каталожный номер | M-120-01 | | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Тип компонента | Запасная часть / узел оборудования | | Совместимость | Установки TEL серий Unity, Telius, Tactras и др. | | Материал | Нержавеющая сталь / специальные сплавы (зависит от узла) | | Рабочее давление | до ~0.7 МПа (зависит от конфигурации) | | Рабочая температура | —20…+80 °C (типовая для газовых узлов) |

Внимание: точные технические характеристики (расход, давление, присоединительные размеры) определяются конкретной модификацией и должны уточняться в официальной документации TEL или у поставщика.

Парт-номера (возможные варианты написания)

• M-120-01
• M120-01
• M 120-01
• Иногда с префиксами в зависимости от версии BOM: TE-M-120-01, TEL-M12001

Совместимые модели оборудования

• Tokyo Electron Unity (плазменное травление / CVD)
• Tokyo Electron Telius (системы etch)
• Tokyo Electron Tactras
• Tokyo Electron Clean Track (Series ACT / CLEAN TRACK LITHIUS)
• Прочие установки TEL с системами газораспределения серии M-12x

Рекомендации

Для точного подбора и получения официального datasheet/чертежа рекомендуется:

1. Обратиться в Tokyo Electron или авторизованного дистрибьютора.
2. Указать полный серийный номер установки, в которой используется деталь.
3. Проверить совместимость через TEL e-Service / BOM-каталог.

Если вам нужна информация по конкретному узлу 120-й серии (клапан, MFC, фитинг и т.п.) или вы ищете аналог/замену, уточните — я помогу оформить более детальное описание.