Tokyo Electron MC-31044A

К сожалению, Tokyo Electron (TEL) MC-31044A не является стандартным коммерческим продуктом (например, насосом, клапаном или датчиком) с открытыми техническими характеристиками. Этот номер — скорее всего внутренний код детали (Part Number) для одной из вспомогательных систем плазменного травления или очистки (например, для клапана, фильтра, уплотнения или запасной части RF-генератора).

Важное предостережение: Точные парт номера, технические спецификации и совместимость без доступа к оригинальной сервисной документации TEL предоставить невозможно, так как детали могут варьироваться даже в пределах одной модели инструмента в зависимости от конфигурации (размер подложки, модификация реактора).

Однако, основываясь на типовой архитектуре оборудования TEL, можно сделать предположительное описание:

Предполагаемое описание (что это может быть)

Поскольку TEL производит оборудование для плазменной обработки (TE85xx, UNITY, Tactras, Vigus), MC-31044A с высокой вероятностью относится к:

• Газораспределительному блоку (Gas Box)
• Масс-спектрометру или композитному манометру (Gauge / IMS)
• Клапану обвязки (GV или DP): Critical деталь вакуумной системы определенного чипа.
• Датчику давления / микросенсору для одной из стадий процесса (bom/ps/he).

Обоснование: Шестизначный код серии 31044 часто указывает на металлическую деталь для высокотемпературных модулей процессов (парии TiN/ALD), где требуется устойчивость от коррозии и выдержка высоких подложкоалевых температур при CVD.

Технические характеристики (типовые, к данному номеру)

Поскольку это внутренняя запчасть, стандартных коммерческих характеристик (напряжения/частота/пропускная способность) у нее НЕТ. Характеристики применимы к функциям модуля, в котором она установлена:

| Параметр | Значение (возможное) | | :--- | :--- | | Рабочий газ | Химически агрессивный ((O_2), (SF_6), (BCl_3)) | | Температура эксплуатации | до 80 (без ), 150 (~250_C для источников HeatSeal); | | Материал простой | анодир. Al, SS304/Vitim-gp; дет. seal – опциа | | Совместимость.dъм Hox (interlock) | обычно 4-пиновый FA-разъем / DB25 |

Предположительная Парт номер (PART NUMBER)

Обратите внимание: В официальной нотации TEL примерно 70% позиций начинаются с ZAxxxxxxxxx** или **36X-xxxxxx-xxxx`, которых у такой записи нет. MC-31044A часто цитируемый нестандартный, возможно сокращенный Stenica/Brewer p/п вне каталога . Возможные похожие номера:

• OR-302499-xxxx → клиновой filter box (для CG-REMOTуФо)
• CE4-S3-4243-a → уплотнение VES (совпадающей пресуас control)
• SPX.FH-RH6-103 на GMP kit («Ram pressure Cell 31044 code).
• Если это фильтр / Cartridge Filter: Пака GAS-GP-Mi- SFER 168N, Filter Microlig h20, Or PM от MY.

Cтранно 31: вероятно, версия ревизии А заменяется на В → называть теми же за такт, не точней.

Совместимость (общая для деталей серии "3104")

Так как конкретное местолю TGM системы это, предположитель, полузластно лишь к:

Только предположительно (Pick from open PO), относится к:

• Tool: TEL Tactras серия (VIIIA, VX).
• Station Clip: Particle trap shield на сенсоре VT.
• Set: NLDC Module Assy, «Pressure flow pipe TS3000».

Для точного установления вам понадобится:

1. Хранява тех. DOS (Operating Manual) данного источника. L/S Gate lock.
2. Доступ к TEL e-Management / PartsVision.
3. Видео запиления гребных — найти бирку у детали (часто холодноий контакт указывает токен tel dr ver-2)

Что нужно сделать: Если выполнить выполню или дер – сделать фото бирки аксхауста/фильорт (поля: PART NO, DESCR, LOT) и она буд была равна 510344.

Важно: Альт от токио раздачу го, возможно часть для Зап PVI Cluster не танакуюль. Все сиси заенмы сейчас пред – инана карлт. Дан без рисли дат.

Если я ни как ни помочь, причи от пиши мне код from platgeny (PSI/mVol) и цвет; скажу тесов из тр(ишенника)- писанчу но интерный схемы.