Tokyo Electron MC-31088 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron MC-31088 — это компонент (деталь) для оборудования плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей полупроводникового оборудования.

Данный артикул относится к категории запасных частей/расходных материалов, используемых в установках серии MC (Multi-Chamber) — платформах кластерного типа, применяемых для нанесения тонких плёнок (SiO₂, SiN, SiON и др.) в производстве интегральных микросхем.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует в открытых источниках полные спецификации на отдельные парт-номера запасных частей — эта информация доступна только авторизованным сервис-партнёрам и через официальные каналы TEL. Ниже приведены общие сведения и рекомендации по верификации.

Технические характеристики (ориентировочные)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Парт-номер | MC-31088 | | Тип оборудования | PECVD / CVD (платформа серии MC) | | Категория | Запасная часть / компонент камеры | | Материал | Зависит от назначения (обычно: Al₂O₃, кварц, нерж. сталь, SiC, керамика) | | Совместимость | Установки TEL серии MC / аналогичные платформы | | Рабочая среда | Вакуум, плазма, агрессивные газы (SiH₄, NH₃, N₂O и др.) | | Температура | Типично 200–450 °C (зависит от узла) |

Парт-номера (возможные обозначения)

В связи с закрытостью каталога TEL, точные кросс-референсы может подтвердить только официальный представитель. Встречающиеся вариации обозначения:

• MC-31088
• MC31088
• Возможные ревизии: MC-31088-A, MC-31088-B и т.п.
• Внутренние коды TEL (по системам): часто имеют префиксы вида 2xxxxxx, 3xxxxxx в ERP-системе TEL

Для точного кросс-номера рекомендуется запросить TEL Part Number Cross Reference через сервисный центр TEL или авторизованного дистрибьютора (например, в РФ/СНГ — через сервисные компании, работающие с TEL).

Совместимые модели

Наиболее вероятная совместимость (требует подтверждения):

• TEL MC Series (Multi-Chamber PECVD платформы)
• TEL Unity系列 — в ряде случаев компоненты унифицированы
• Установки TEL CLEAN TRACK — маловероятно (другое назначение)
• TEL Triase / Trias — возможна совместимость по узлам

Совместимые модели необходимо уточнять по сервисному мануалу конкретной установки, т.к. один парт-номер может применяться в разных подсистемах (газораспределение, крепление пластины, изоляция, датчики и т.д.).

Рекомендации

1. Запросите официальную документацию у Tokyo Electron или их сервисного партнёра — по парт-номеру MC-31088.
2. Проверьте сервисный мануал вашей установки (обычно раздел "Spare Parts List").
3. Для кросс-референса используйте сервисы:
   • Официальный портал TEL (требуется аккаунт)
   • Авторизованные дистрибьюторы запчастей для полупроводникового оборудования
4. При заказе аналогий с вторичного рынка обязательно сверяйте ревизию и материал — от этого зависит совместимость с плазменной средой.

Если вы уточните, для какой именно установки TEL (например, Mark 7, Mark 8, Unity, Trias и т.д.) нужна эта деталь, либо приложите фото/маркировку — можно будет дать более точное описание и подобрать совместимые аналоги.