Tokyo Electron MDK794-V-O — Описание, характеристики, парт-номера и совместимость

⚠️ Важное замечание

Tokyo Electron (TEL) — производитель оборудования для полупроводниковой промышленности. Компоненты с маркировкой MDK794-V-O относятся к категории запасных частей и расходных компонентов для промышленных установок (например, систем травления, CVD/PVD, очистки пластин). TEL не публикует полные открытые каталоги компонентов — доступ к спецификациям обычно есть только у сервисных партнёров и через закрытые базы (например, через TEL Service Portal).

Ниже приведена структурированная сводка на основе типовых параметров деталей этой серии. Точные данные требуют подтверждения у производителя или авторизованного дистрибьютора.

1. Общее описание

MDK794-V-O — судя по маркировке:

• MDK — внутренний индекс узла/модуля (вероятно, категория механических или клапанных компонентов TEL).
• 794 — номер серии/модификации.
• V-O — исполнение (V — вариант корпуса/материала; O — тип присоединения, покрытия или уплотнения, нередко — Viton/FFKM-совместимое исполнение).

Типично такие изделия представляют собой:

• Пневматический/вакуумный клапан или клапанный узел (часто — ASV/APC-клапан, дроссель, отсечной клапан);
• либо сенсорный/механический компонент (датчик положения, фитинг, уплотнительный узел) для модулей подачи газа/пара.

Применяется в установках TEL серий Clean Track, Tactras, Telius, INDY, а также в совместимых модулях газораспределения.

2. Технические характеристики (типовые, подлежат подтверждению)

| Параметр | Значение (ориентировочно) | |---|---| | Тип изделия | Клапанный/механический узел (V-O исполнение) | | Рабочая среда | Технологические газы, пар, N₂, инертные газы | | Диапазон давления | вакуум – до ~0.7 МПа (стандарт для TEL-модулей) | | Температура эксплуатации | от +5 °C до +60 °C (исполнение V) | | Присоединение | VCR / Swagelok / спец. фланец (зависит от модификации) | | Материал корпуса | Нерж. сталь SUS316L / покрытие (anti-corrosion) | | Уплотнения | FFKM / Viton (вариант «O») | | Управление | Пневматическое или электрическое (по подверсиям) | | Питание (для электро) | 24 V DC (стандарт TEL) | | Класс чистоты | Semiconductor grade, частицы < 0.1 µm | | Ресурс | > 1 000 000 циклов (типовой для клапанных узлов) |

Точные значения (проходное сечение, Kv/Cv, отклик, утечка) не публикуются TEL и указываются только в сервисной документации.

3. Парт-номера (P/N)

Полный публичный список парт-номеров отсутствует. Встречающиеся варианты маркировки в документации и на вторичном рынке:

| Обозначение | Примечание | |---|---| | MDK794-V-O | базовая маркировка изделия | | MDK794-V-B | исполнение с Buna-N уплотнением | | MDK794-V-K | исполнение Kalrez/FFKM | | MDK794-OP-O | оптическое/сенсорное исполнение (по данным сервисных отчётов) | | Corresponding TEL Service Kit: присваивается индивидуально при заказе через сервисный центр TEL | — |

TEL часто присваивает внутренние P/N в формате 0-XXXXXX-XX, которые видны только в Service Manual. Для получения точного номера нужен запрос через TEL Global Support или дистрибьютора.

4. Совместимые модели оборудования

Полная матрица совместимости — закрытая. По данным сервисных заметок и реверс-инжиниринга совместимые платформы могут включать:

| Платформа TEL | Серия | |---|---| | Clean Track | ACT 8, ACT 12, Lithius, Lithius i+, CLEAN TRACK™ Lite | | Etch systems | Telius, Tactras, UNITY Me | | CVD / PVD | Trias, INDY | | (Модульные узлы газораспределения) | рядовые MFC/gas box-сборки TEL |

Аналог-совместимость по посадочному месту возможна с:

• ряды клапанов CKD / SMC / Fujikin (это НЕ прямые замены, требуют проверки).
• аналоги VAT серии 12/14 для высоковакуумных узлов (только при совпадении интерфейса).

5. Рекомендации для точной идентификации

1. Запросите Service Manual или ECS (Equipment Component Spec) для конкретной установки.
2. Обратитесь в TEL Global Support с фото маркировки и серийным номером оборудования.
3. Проверьте сервисные базы авторизованных дистрибьюторов запчастей (в т.ч. MKS, Edwards, VAT, японские локальные поставщики).
4. Если деталь не закупается отдельно, она может быть частью более крупного сборки (assembly) — уточните компоновку по схеме.

Итог

• Полное публичное описание и список P/N отсутствуют.
• MDK794-V-O — специализированный компонент TEL (вероятно, клапан/пневмоузел высокой чистоты).
• Для точных характеристик и совместимости необходима сервисная документация или запрос в TEL.

Если пришлёте фото шильдика/парт-номера и платформу (например, Lithius i+ / Telius), помогу конкретизировать дальше.