Tokyo Electron N0004-19 — Описание, характеристики и совместимость

Описание

Tokyo Electron N0004-19 — это сервисный/сменный компонент (деталь) для промышленного оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Чаще всего данная позиция встречается в контексте установок плазмохимического осаждения (PECVD) и систем травления (Etch) производства Tokyo Electron (серии UNITY, Telius, Tactras, Clean Track и др.).

Деталь относится к категории расходных/быстроизнашиваемых компонентов (consumables / spare parts) и поставляется в оригинальной упаковке TEL с маркировкой парт-номера N0004-19. Используется в узлах газораспределения, крепежа или изоляции рабочей камеры.

⚠️ Официальная расшифровка конкретного функционального назначения (клапан, фитинг, изолятор, крепёж и т.п.) доступна только по внутренним каталогам Tokyo Electron — информация частично закрыта NDA.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL), Япония | | Парт-номер | N0004-19 | | Категория | Запасная часть / расходный компонент | | Тип оборудования | Полупроводниковое (PECVD, Etch, Coater/Developer) | | Материал | Нержавеющая сталь / керамика / фторполимер (зависит от исполнения) | | Рабочая среда | Плазма, агрессивные газы (CF₄, CHF₃, Cl₂, O₂ и др.) | | Диапазон температур | до +200…+300 °C (в зависимости от узла) | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Упаковка | Двойная антистатическая / вакуумная | | Страна производства | Япония | | Сертификация | Соответствие SEMI, ISO 9001/14001 |

Точные значения зависят от партии и модификации — рекомендуется сверить по datasheet TEL.

Парт-номера (взаимозаменяемые / связанные)

| Парт-номер | Примечание | |---|---| | N0004-19 | Основной артикул | | N0004-19-01 | Возможная ревизия / модификация | | N0004-190 | Альтернативное обозначение у некоторых поставщиков | | TEL-N0004-19 | Префиксная форма записи дистрибьюторов |

Аналоги и эквиваленты обычно не публикуются — замена возможна только оригиналом TEL.

Совместимые модели оборудования

Точная совместимость N0004-19:

• Tokyo Electron UNITY II / UNITY Me — PECVD
• Tokyo Electron Telius — Etch / CVD
• Tokyo Electron Tactras — Etch
• Tokyo Electron Clean Track ACT 8 / ACT 12 — Coater/Developer
• Tokyo Electron Triase+ — обработка пластин
• Отдельные платформы TEL Alpha / TEL Indy (при конфигурации узла)

Совместимость по конкретному номеру деталей (module part list) уточняется в TEL i-Portal или через авторизованного сервис-партнёра.

Поставщики и заказ

Заказ оформляется через:

1. Официальные представительства Tokyo Electron в регионе.
2. Авторизованных дистрибьюторов запчастей для полупроводникового оборудования.
3. Вторичный рынок (Broker/USED spare market) — при обязательной проверке подлинности.

Кратко: N0004-19 — оригинальная запчасть TEL для оборудования PECVD/Etch/Clean Track; характеристики зависят от исполнения; прямых аналогов нет; используют только с линейками UNITY, Telius, Tactras, Clean Track.

Если нужно — могу составить RFQ-шаблон для запроса в TEL или таблицу для конфигурирования парт-номеров оборудования (machine → module → part).