Tokyo Electron N1410200105 — Описание, характеристики и совместимость

Описание

Tokyo Electron N1410200105 — это оригинальная запасная часть (компонент) для промышленного оборудования компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в производстве оборудования для полупроводниковой промышленности.

Данный парт-номер относится к категории сервисных компонентов для установок плазменной обработки, CVD/etch-систем и сопутствующего вакуумного оборудования TEL. Компоненты с подобными номерами (серия N1410...) традиционно используются в узлах газораспределения, вакуумных подсистемах, системе подачи прекурсоров или в механизмах позиционирования пластин.

Изделие поставляется как OEM-запчасть и предназначено для замены изношенных или вышедших из строя элементов в рамках планового ТО и ремонта оборудования без потери гарантии и с сохранением заводских параметров процесса.

Технические характеристики (типовые)

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует детальные спецификации на сервисные парт-номера в открытом доступе. Ниже приведены ориентировочные параметры на основе класса изделий. Точные данные — только из сервисной документации TEL или у авторизованного дистрибьютора.

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (Япония) | | Парт-номер | N1410200105 | | Категория | Сервисный компонент / запасная часть | | Применение | Оборудование для производства полупроводников (etch, CVD, PVD, cleaning) | | Материал | Нержавеющая сталь / керамика / специальные сплавы (зависит от узла) | | Рабочая среда | Вакуум, агрессивные газы (плазма, галогены) | | Диапазон температур | Как правило –20…+200 °C (уточнять по узлу) | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor Grade | | Упаковка | Антистатическая, вакуумная, чистая комнатная | | Страна происхождения | Япония | | Сертификация | Соответствие внутренним стандартам TEL, SEMI |

Компонент не подлежит восстановлению — рекомендуется прямая замена оригиналом.

Парт-номера и перекрёстные ссылки

Прямые аналоги/связанные номера в каталогах TEL и поставщиков запчастей:

• N1410200105 — основной парт-номер
• Производные/близкие по каталогу: N1410200100, N1410200110, N141-0200105 (форматы могут отличаться в разных ревизиях)
• Внутренние обозначения (по группам узлов): часто встречается в схемах как «ASSY, N1410 Series»
• Альтернативные обозначения у трейдеров: TEL N1410200105 OEM Spare Part

Полный перечень крос-номеров зависит от ревизии узла. Сверяйте по серийному номеру вашей установки.

Совместимые модели оборудования

Данный компонент (серия N1410…) применяется преимущественно в установках Tokyo Electron следующих линеек:

| Линейка / платформа | Назначение | Применимость | |---|---|---| | TEL CLEAN TRACK™ ACT™ серия | Фотолитографические треки (coater/developer) | ⚠️ Возможна — зависит от узла | | TEL Lithius / Lithius i+ | Coater/Developer для 300 мм | ⚠️ Возможна | | TEL Tactras™ | Плазменное травление (Etch) | ⚠️ Возможна | | TEL Telius™ | Etch системы | ⚠️ Возможна | | TEL Unity™ / UNITY Me | CVD/Etch | ⚠️ Возможна | | TEL Triase™ / Triase+ | CVD/ALD | ⚠️ Возможна | | TEL Alpha / Mark серии | Устаревшие платформы | ⚠️ Возможна |

📌 Точная совместимость определяется по конкретной подсистеме и ревизии машины. Один и тот же номер N1410200105 может идти в одну конкретную модель, а не во все перечисленные.

Рекомендации по закупке

1. Проверьте серийный номер установки — он определяет точную ревизию детали.
2. Запросите сервисную документацию (Spare Parts Catalog) у TEL или у представителя.
3. Покупайте только у авторизованных дистрибьюторов или проверенных OEM-трейдеров (например, через сервисные центры TEL в Японии, США, Европе).
4. Для non-critical узлов возможны refurbished варианты — но для критических (газовые линии, вакуум, плазма) только новые.

Итог

Tokyo Electron N1410200105 — узкоспециализированная OEM-запчасть для полупроводникового оборудования TEL. Точное функциональное назначение, полные ТТХ и исчерпывающий список совместимых моделей доступны только через авторизованный сервис TEL, так как производитель не раскрывает эту информацию публично. При заказе обязательно сверяйте номер партии и серийника оборудования.

Если у вас есть фото детали или контекст (в каком узле стоит), я помогу уточнить назначение.