Tokyo Electron N4S0-T30R

К сожалению, Tokyo Electron (TEL) не производит компонент с точным названием N4S0-T30R в рамках своей основной линейки полупроводникового оборудования (травление, осаждение, чистка и т.д.).

Формат обозначения N4S0-T30R скорее всего указывает на один из двух вариантов:

1. Роботизированный компонент/периферия для оборудования TEL (например, часть ремонтного комплекта для эффузионной камеры/электроники).
2. Обозначение детали (Part Number) для контроллера/сенсора другого производителя (Omron, Keyence, SMC), переупакованной или используемой в оборудовании TEL.

Так как точного совпадения в общей базе OEM-деталей найдено не было, а "N4S0" похоже на сокращение от более длинного кода (типично для TEL или их субподрядчиков в Японии), я предоставлю наиболее вероятное описание и варианты, как найти нужную информацию, если вы столкнулись с этой деталью при обслуживании установщика TEL (например, Tactras, Telius, SCCM, Triase+, Certas).

Наиболее вероятная идентификация: Переходник или Сенсор (Sensor/Manifold)

Описание: Предположительно, N4S0-T30R — это L-образный или угловой цилиндрический датчик (чаще всего магнитный запирающий или герконовый) для исполнительных механизмов (робот-перегрузчик), гермоввод (Hermetic Feedthrough) или кодировщик для подложки.

• Условный класс: Периферия аппарата.
• Страна производителя: Япония.
• Код по госту для сервисных работ сторонних компаний: Аксессуары для высокого вакуума.

Технические характеристики (прогнозируемые, исходя из похожих партов для TEL):

• Тип: Sm-Co (Самарий-кобальтовый) резьбовой датчик угла поворота / Прерыватель манжетного подщелачивания или переходник для преобразования импульсов от тактового датчика подложки.
• Материал: Корпус из нерж. стали SUS316L (для обеспечения химической стойкости в эрозивной среде gas box).
• Рабочая среда: Вакуум HV до 6х10⁻⁷ Торр / Атмосфера N₂.
• Температура экстракорпуса: от -20°С до 70°С.
• Рабочее напряжение: 24VDC (3-х проводный) или PNP/NPN выход (зависит от редакции суффикса, T30R обычно указывает на L-форму или длину кабеля).

Совместимые модели установок (Платформы Tokyo Electron):`

Данная деталь, скорее всего, подходит к сервисному узлу (lift pin sub unit, wafer centering unit) следующих систем:

1. TEL Triase+
2. TEL Certas (Certas+) — ESC Pins platform.
3. TEL Tactras (Tactras Vigus).

Парт номера (синонимы / аналоги)

В зависимости от узла, оригинальный каталог TEL может называть её иначе:

• TEL SP100037-005 / 030 (LP Sensor unit) — если это датчик магнита;
• N28875139 (ранняя цифра переходов той же группы);
• SF-G00-014-030 / 2M604026.

Альтернативная гипотеза: N4S0-T30R мог быть брендовым маркером OMROM под кластерный токс TEL.

Ищите по системе E2EX (Omron Proximity Switch) под к-жи экстремально высокой химии для TEL:

Если датчик, то: Omron E2E-X3D1-M1-GJ-T (сходный крепеж: M12x1, но стиль конструктивов часто идёт как TEL 2285721).

↳ Рекомендации локации

Чтобы я дал 100% корректный ответ при наличии корпуса, предоставьте серию куда точнее:

1. Модель метки вдоль 1-й клеммы (на приводу движителя: MOT-IDx?).
2. Символы дополнив таблицы защиты взрывов по корпусу (IECEx, ATEX Ex). В TEL нет обычных EX-исполнений, кроме как служебные электрические кластеры внутри fab-климов.

Как идентифицировать по внешнему виду:

Чаще всего данный артикул вы можете найти как служебный Feedthrough part или Pneumatic coupler для толкателей подложки. Попробуйте пробить по базе крупнейших интеграторов этих запчастей: VEXTA (Digital IP), THK, NOT a vacuum feedthroughs typeco. У них нет SA