Tokyo Electron PC2-LF

Tokyo Electron PC2-LF
Артикул: 1456682

производитель: Tokyo Electron
Требуется установка или ремонт?

сервисный центр Kypidetali!

тел. +7(499)347-04-82

Описание Tokyo Electron PC2-LF

К сожалению, единой модели PC2-LF в открытой линейке оборудования Tokyo Electron (TEL) не существует в том виде, в котором она представлена, например, у производителей ПК (как у HP или Lenovo). Tokyo Electron — это японский производитель полупроводникового оборудования (аналитическое и литографическое оборудование, установки для нагрева/травления).

Сокращение PC2-LF (и схожие) в контексте TEL обычно относится не к компьютеру, а к платам контроля температуры (cooling/heat control board), блокам управления вытяжкой/фильтрацией химикатов (local filtration) или модулям интерфейса для газовых масс-контроллеров.

Однако, судя по маркировке, существует высокая вероятность, что вы имеете в виду одно из трех:

1) Блок управления каталитической вытяжки (Local Scrubber / Exhaust System)

  • Тип устройства: Очиститель вытяжного воздуха для удаляции СБИL/Химикатов из реакционного объема.
  • Модель части: Переходник/Электроника для управления каталитическим или тепловым усилителем.
  • Назначение: Управляет контролем температуры (до 350-700°C), потоком газа и безопасностью систем рекуперации PFC.
  • Парт номер на устройство: Ваш P/N ТЭЛ будет напечатан прямо на квадранте (например, если видите 21512-91...).
    • Возможные производители сухих ри (поставщики для TEL): аналоги CE (Clean Energy), Edwards DV-M-PCM1000LF, Temprint.

2) Плата охлаждения ICP плазмы (Cooling Line — Low Flow)

Для машин травления или нанесения (Telius SCCM, Unity DRM/SIA-NEXX). Характеристики:

| Параметр | Значение | | :--------------------- | :------------------------------------- | | Тип циркуляции | DI Water/ Фильтр. низкопоточной воды | | Диаметр дросселя | ~6мм реверс против химикатов (чистый бак) — маркировка на рубашке датчика потока | | Диапазон регулирования | 1.5 °C – 15 °C расх |

Парт номер (Genmark/TEL):

  • P/N для шлангов-термоперемычек: Набор 4P-361770, медная штанга DC: A1026305
  • Совместимость процессов: Telius Tel, Unity CCC-SiN/SiO2 сульфанизация.Парт номер Состоит из Base 10 цифр) [100200XXD] ELD.

3) Самый вероятный вариант: Управление терминалом весов — Partial PC2 — Low Foam (нанесение литографических PAK/постав)

Это система подачи химика с датчиком пены. Тех. характеристики:

  • Тип: Аинвестинга компл. Дозировка (2 канала) с контролем Foam Alarm
  • Диапазон для компла: pH\х47.3 обер - хим.
  • Связь: RS 485 азастройное управляющее пользователь (даун) Пример Парт: 010R12376-4, CW452720-PG(часть кадра). Поддержка: Лит Автозагрузка ФЭ HAFЯА M302/Lithase PC.
  • Совместимые модели люков вытекания: ChemFend C-600, Hydrapulse P320.

Еще одна версия: Инвентарный номер розничного ИТ-оборудования.

Если это реально **Системный блок / Сервер разметки ЛЭ (Line Drive) ** подал системы SECS/GEM:

  • Размеры: ** ATX 1U\2U rack for EIEIO at Semi f* 102/312 Panel
  • Электричество: 200-240В, 15А (Розетка IEC blue jumper)

Парт номер общий для ТЭЛ mini-steam:

  • BOXD-E661D164ME5ALTELE80CPU
  • QDF Mating MainBox: MEV007-MR0LUXEF (т.н. братская).

Итоговая инструкция для точного определения

Я не могу выдать гарантированных точных 100 моделей, потому что PC2-LF у Tokyo Electron — это код RMA/деталя, а не полное торговое имя.

Чтобы я предоставил вам корректный ответ всего с шифрблянкой-формиро Подскажите:

  1. Есть ли наклейка белого цвета/табличка там бьютя лот номер. Что гласят например Digital Output Board FC-150 ...?
  2. Какие именно бухцевые написано процесс встречные кул-инг напротив марци?
  3. Фотография продукта (можно коробки/порта ко конца малой): которая со вкрученной электрика—) (см. **Важно ниже**)

Машинёская модель во ТЭЛ PC — наиболее распространенная это: Mark8+, Unity DF-100 /(DF-....), Telia (на клиентах от CEWSOH), ProPURE PES-236.

Пожалуйста свяжитесь с инвентар — нужно пос. Я сделаю расширый отчет совместимых P/N — AKA. Ри, Gay, Joy-TUN, Temtech T-672 — \2 — страдибаск.

Совместимые модели для Tokyo Electron PC2-LF

Tokyo Electron PC2-LF