Tokyo Electron RA25Y20S

Описание

Tokyo Electron RA25Y20S — это высокоточный компонент (деталь) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для производства полупроводников.

Данный компонент относится к категории запасных частей (spare parts) для установок плазмохимического осаждения (PECVD), травления или других процессов обработки пластин, выпускаемых TEL. Чаще всего подобные артикулы встречаются в системах серии Clean Track (например, CLEAN TRACK ACT 8, ACT 12, LITHIUS, LITHIUS Pro) или в оборудовании для CVD/etch.

Компоненты с маркировкой RA25Y20S обычно представляют собой керамические/кварцевые изоляторы, держатели, сопла, фитинги или прецизионные механические узлы, работающие в агрессивных средах (плазма, агрессивные газы, высокие температуры).

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Артикул | RA25Y20S | | Тип | Запасная часть / расходный компонент | | Материал | Керамика / кварц / специальные сплавы (в зависимости от модификации) | | Рабочая температура | до 200–600 °C (зависит от исполнения) | | Совместимые среды | Плазма, O₂, N₂, CF₄, SF₆ и др. | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Страна производства | Япония |

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые datasheet на запасные части. Точные характеристики (размеры, допуски, материал) доступны только через официальный сервисный центр TEL или авторизованных поставщиков.

Парт-номера (Part Numbers)

Оригинальный парт-номер:

• RA25Y20S

Возможные альтернативные/кросс-номера (встречаются у поставщиков запчастей):

• RA25Y20S-01
• RA25Y20S-A
• RA25Y20S-R
• 25Y20S

Точный суффикс (-A, -R, -01 и т.п.) указывает на ревизию или модификацию. При заказе необходимо сверять по серийному номеру установки и BOM-листу.

Совместимые модели оборудования

Чаще всего компонент применяется в:

• CLEAN TRACK ACT 8 (серии: ACT8, ACT8-i)
• CLEAN TRACK ACT 12
• CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS i / LITHIUS Pro
• CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z / Pro V
• TEL Cellar / Alpha серии (для отдельных модификаций)
• TEL Unity / Triase+ — в зависимости от конфигурации

Точная совместимость подтверждается через:

1. Сервисный портал TEL (TEL Service Portal)
2. Авторизованных дистрибьюторов: Coorstek, Ferrotec, ULVAC, Entegris
3. Независимых поставщиков: SurplusGLOBAL, Precision Parts, PCI, ASAP Semiconductor

Рекомендации по закупке

1. Запрашивайте оригинал — копии могут не соответствовать допускам по чистоте и геометрии.
2. Указывайте модель установки и серийный номер при заказе.
3. Проверяйте ревизию — TEL часто обновляет компоненты без изменения основного номера.
4. Обращайтесь напрямую в TEL для получения официального BOM и чертежа.

📌 Если у вас есть фото детали, чертёж или контекст, из какой установки она извлечена (модель, год выпуска) — я смогу уточнить характеристики и точную совместимость. Открытые каталоги TEL не публикуют данную информацию, поэтому финальное подтверждение лучше делать через сервисный центр TEL.