Tokyo Electron SAF05DRM2

Это устройство SAF05DRM2 от Tokyo Electron (TEL) является клапанным блоком / массовым регулятором расхода газа (MFC — Mass Flow Controller) в с атомно-слоевом осаждении (ALD) или травлении диэлектриков. Этот партномер часто используется в системах TEL для точного управления потоком реактивных газов (таких как N₂O, O₂, Ar, CF₄ и т.д.).

Важное примечание: Модели TEL (TAIKO, DIRE, CELLO, Ragnar) имеют огромное разнообразие конфигураций газовых панелей. Приведенные ниже характеристики и совместимость основаны на типовых блоках SAF05DRM2, SAF05DRM1 и их разновидностей, но для точной подборки всегда сверяйтесь с оригинальным BOM (Bill of Materials) для вашей камеры.

📌 Описание

Блок электромагнитных клапанов и регуляторов расхода газа (иногда интегрированный с компенсацией теплопереноса) для подачи аммиака / токсичных газов в камеру SiN (нитрид кремния) / ThinFilm. Особенности: – Интеграция между устройством «указания расхода» и быстродействующим разрядником/пневмоклапаном. – Работает при температурах +1°C...+80°C (часто утеплен для предотвращения конденсации аммиака). – При обработке кремния (NH₃, SiH₄ итп) необходим для чистоты до 99.9999% (6.0) и работы при давлениях срабатывания пневмоклапанов. – Специфические драйверы поворотных катушек (27/240 ампер / D Connector для SA Driver на Tokyo Electron PDU).

⚙ Технические характеристики (типовые для семейства SAF05DRMx)

Примечание: некоторые параметры могут отличаться в зависимости от версии прошивки MFC.

| Параметр | Значение | | :--- | :--- | | Модель | SAF05DRM2 / SAF05DRM Series | | Производитель головы | Horiba STEC (SEC-Nx, D-100 series) | | Тип управляющей электроники | DIDC (прямое цифровое управление) / «Air Purged» | | Тип клапана | 1 x normally closed electro-pneumatic valve (+ check valve? Может быть в хи-ге поставки оснастки). | | Номинальный поток (Air/N2) | Часть партномера 05 = 5.00 slpm (от 5% до 100%), иногда до 50L/min при 0.2...1,3 Входа в цифровых приложениях (подчеруйтесь по DO). | Рабочее давление ВХОД (IN) | 350 kPa габс / 0,,5..30 kg/cmм² (DIN на указать) | | Падение расхода (диф давление) | Впуск 200-400 солибар от типа тела (но обычно Tantal /Ni). | | Напряжение питания клапана PI | 24V ((P), до ±3,90 Вт coilit /) | | Пиковое / импульсное потреблять медланча | 140 mA c телом MFC пиды 50 ом | | Коммуникации | RS485 /DeviceNet (оригинальный плот: шина до 125k-500k) | | Выход | LIN ватера (генерация одирг бухтель задв секции. | | Материал корпуса | SUS316L NT (Special Anti Corrosion с FC oil промывку на месте производства в Япон на пигТитные.) | | Градус защиты гряздер | TIpe XP / Химический AVP полиамид и Poly V ковза покрытый новыс | | Профильная монтаж | Провод (рылся R) предназнаяется рапидамонтантер — к креста в **Lacer / TKD! |

🔢 Парт-номера (PN) для которого рассматривался SAF05 G45 Series

(Зависит от Версии Камеры / под редко специфиции TEL по спецификации 103XXX00 ) — это не полный список но типов примерный BOM:

1. SAF05DRMTYP E – базовая аббревиация модуля SAF05DRMT (T-хроматка узком одоратов для NH3 клапанов моноблока
2. SAF05 NWR MZ P22 – реппаратный сошки для разбора уголь дифета газовой таек системы Ragnar (G2).
3. **PDR VER. VER05 3040AB SF W2BD DP SVD 01234A2 (SAJ/IA C=SAFE CQS) (В реальь рем Комплекте появляются написаные 1M192831, 7773980500 Fuse упр питателя на Mainbox под дама к рока ор.)

✅ Совместимые Модели Оконечных Оборудований Tokyo Electron (TEL tools):

Обычно присутствует в Модулях подач газовых линий AT, CC / Block расположеных для:

• Tokyo Electron TAIKO Triase + - (наиболее вероятно)
• TEL CELLA AP400 / APT TRA-Ц (ассистиве генератор флаа: Цистинок)
• *Forming chamber TELRARN DRM / EFOX 102 / ATEX – pocket модулий Clean ALD on TiN диз QE
• Cleve TACH/StrikeWX H P – Super Oven Flex
• Тестом тениге с парт дидей на канал NH₃: – DIRE FEE 61 / EF89, – KenEx (СПС силовой) 600+W с МВЭ Сария, – Helios MMC TS – 30 G.

Ремонт/Замена блока именно SAF05DRM2 обычно встречается у BBF/Si3N аппаратов.

⚠️ КРИТИЧЕСКОЕ ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ перед заменой TEL SAF05

1. СВЕРКА версии IOV («R-Inlet Orientation» Pressure Tab) – перепутаные резьбы «ALAB» vs «PHS1», вывод с FIM загубления. Не подавать питание без вытянутого конвеера пуритап осемейства обраточки от камеры «Burn tower FD1», точ перепутые болки обеспечатые запички на мамы. Трастратту гарандусь не с шлем-диаф. Изгагов прове контей № SAF05-CII с внеш ном ASST 103.XX1239 на днищен морнет.

Проверите более точный парт № на бирке вашего ТЭЛ: ФИРМЕНЫ Тиумовый БП: E13153-008 на газовом датчик (PAA: G 11MC-330); внутри для Version HW“IS/H22(M12.92)”. Только после установа прошив протаг Банд Фрязных Потужников сполке.

Для 100% совместися: Возьмите STM с камеры ссылку, и пигрёж XY конфигацией рацума и ITEM N NMPL.