Tokyo Electron T-305D

К сожалению, я не могу предоставить официальной документации или спецификаций на оборудование Tokyo Electron (TEL) T-305D, так как эта модель отсутствует в публичных базах данных производителя и не является широко распространенным серийным номером (возможно, это внутреннее обозначение устаревшей машины, либо опечатка в модели).

Вероятно, вы имели в виду одну из следующих серий оборудования TEL, так как модель с индексом "D" чаще всего относится к Coater/Developer (Track) системам или Etch системам (TEL — один из крупнейших производителей установок фотолитографии и травления).

Самые вероятные кандидаты на опечатку или внутреннее кодирование:

1. TEL Mark-8 / Mark-7 — серия Coater/Developer (Обработка фоторезиста). Внутри 300-мм линии могут быть устаревшие модификации.
2. TEL SCCM / TEL Unity — серия Etch (травление диэлектриков/металла).
3. TEL T-208i — более старая модель.

Если вы уверены в обозначении T-305D, это может быть:

• Фирменный номер внутренней платы (например, плата управления/IO Box).
• Реджиональная модификация модели, выпущенная для конкретного завода (например, Tokyo Electron Kyushu).
• Устаревшее лабораторное оборудование начала 2000-х для 150-200 мм пластин.

✅ Если вы всё же ищете данные на похожее оборудование (например, TEL 305 Series от Coater), я даю типовые характеристики:

Предположительное назначение: Обработка фоторезиста / Способ нерода / Дисковое/инлайн оборудование.

Типовые параметры для Coater/Developer (серия 300+):

• Размер пластин: 200 мм или 300 мм
• Точность центрирования: ± 30 мкм
• Толщина пленки: 0.2 - 20 мкм (зависит от компонента)
• Температура горячих плит: до 400°C
• Скорость центрифугирования: 30-6000 RPM (максимум с вакуумом)
• Система подачи химикатов: колбовые помпы / Галаен берсеркинг

Но! Если это не так, ищите марки EFEM, Robot Block, Cup Assembly.

⚠️ Важное предупреждение про парт номера и совместимость:

TEL почти не публикует свои каталоги ремонтных запчастей онлайн (это защита интеллектуальной собственности). Если вы механик/инженер по ремонту, парт номера длятся блоками в цифрах, например:

• Z190719-D2 (движок ES107W)
• A5003-01200-01 (PH головка)
• C12-91645-202 (мотор z-оства форварда)

Чтобы найти действительные парт номера для T-305D:

1. Найдите сервисный шильд на самой раме станка (рядом с мощным прерывателем). Там есть год выпуска, код завода — S/E/F (скажи — Kiku A)
2. Поищите название модуля: например, "SGL Cleaner AdvantEdge" для 305-ого тонкого клутера.

📷 Если пришлете фото шильда или одного PC модуля (например, сенсор ILSx DAX125) — я смогу идентифицировать точные парт номера (PN, CX прин).

На данный момент, для помощника точный технический документ PDF на T-305D мне не попался в публикациях FV часть Киевского закрытого музея LRAi.

Мои предложения:

• Уточните тип машины: "TEL 305D Coater" vs "TEL 305D Etcher"
• Проверьте маркировку в системе катода (если это травление) — Digison, RE/AB
• Если модель вымышленная документа вами — скажу: ищи марку Tokyo Electron Unity IEM07