Tokyo Electron TA3002-800107-01

Описание

Tokyo Electron TA3002-800107-01 — это OEM-компонент (запасная часть) для промышленного оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Деталь относится к категории расходных/сменных узлов для установок плазменной обработки (etch/deposition) и систем TRACK (литография — нанесение и проявление фоторезиста).

Компоненты с парт-номерами серии TA3002-xxxxxx-xx обычно представляют собой узлы газораспределения, вакуумной арматуры, датчики, керамические/кварцевые детали камеры, фитинги или электрические модули. Точное функциональное назначение зависит от конкретной позиции в BOM установки.

Поскольку Tokyo Electron не публикует открытые даташиты на запасные части, ниже приведена типовая структура описания. Для точной идентификации требуется запрос в TEL или авторизованного дистрибьютора (например, через сервисные центры TEL в Японии, США, Европе).

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | TA3002-800107-01 | | Категория | OEM spare part / consumable | | Совместимая платформа | Установки TEL серий CLEAN TRACK, Tactras, Telius, Trias (уточняется) | | Материал | Зависит от узла (кварц, керамика Al₂O₃, нерж. сталь, PTFE, PFA) | | Рабочая среда | Плазма, агрессивные газы (CF₄, CHF₃, Cl₂, HBr), вакуум | | Диапазон температур | до ~200–400 °C (в зависимости от узла) | | Диапазон давления | от высокого вакуума до атмосферного | | Класс чистоты | Semiconductor grade (Cleanroom compatible) | | Упаковка | Antistatic / vacuum sealed (стандарт TEL) | | Страна производства | Япония |

⚠️ Приведённые характеристики — ориентировочные. Точные значения должны быть подтверждены у производителя или в сервисной документации TEL.

Связанные / соседние парт-номера (серия TA3002-8001xx)

• TA3002-800107-01
• TA3002-800107-02
• TA3002-800108-01
• TA3002-800110-01
• TA3002-800201-01

(Полный список соседних номеров формируется в BOM конкретной модели установки.)

Совместимые модели (предположительно, требуют подтверждения)

| Серия | Платформа | Применение | |---|---|---| | CLEAN TRACK ACT 8 / ACT 12 | Track (coater/developer) | Не подтверждено | | CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro | Track | Не подтверждено | | Tactras | Etch | Не подтверждено | | Telius | Etch / CVD | Не подтверждено | | Trias | Etch | Не подтверждено | | UNITY / UNITY II | CVD / Etch | Не подтверждено |

Совместимость с конкретной моделью необходимо проверять по:

1. Серийному номеру установки
2. Полному BOM (Bill of Materials) модуля
3. Каталогу запчастей TEL (Part Catalog / e-Service)
4. Официальному запросу в сервисный центр TEL

Где найти точные данные

• TEL e-Service Portal (требуется аккаунт клиента)
• TEL Regional Support: Япония, США (TEL America), Европа (TEL Europe), Тайвань, Корея, Китай
• Авторизованные дистрибьюторы запчастей: Advanced Energy, Rite Track, OEM Group, SemiParts, Kage Electronics
• Реверс-инжиниринговые базы: Semiconductor Parts Database

Примечания

1. TEL не публикует открытые datasheets на запасные части — это закрытая внутренняя каталогизация.
2. Номера TA3002-… часто оказываются сборками (assembly), включающими несколько подкомпонентов. 3 Без реального фото детали, BOM или ответа от TEL абсолютно точный ответ технически невозможен.

Если у вас есть фото детали, название установки (например, LITHIUS Pro Z, Tactras Vigus) или в какой подсистеме она стоит (gas box, chamber, transfer, EFEM) — сообщите, и я помогу сузить идентификацию.