Tokyo Electron TK4984A6

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron TK4984A6.

Общее описание

Tokyo Electron TK4984A6 — это держатель масок (Mask Frame или Reticle Holder) для фотолитографических степперов и сканеров, в частности, для моделей серии TEL FPD. Он предназначен для использования в производстве дисплеев (FPD - Flat Panel Display), таких как ЖК-панели, OLED-экраны и т.д.

• Основная функция: Точное удержание и позиционирование фотошаблона (маски, ретикула) во время процесса экспонирования (литографии). Это критически важный компонент, обеспечивающий правильное перенос схемы с маски на стеклянную подложку.
• Тип: Это рамка для больших фотошаблонов (Large Format Reticle), используемых в FPD-производстве, где размеры стекол значительно превышают размеры кремниевых пластин в полупроводниковом производстве.
• Состояние: Как правило, это запасная часть (Spare Part) или компонент для обслуживания, приобретаемый для ремонта или замены в существующем оборудовании.

Технические характеристики (ТТХ)

Точные технические спецификации часто являются внутренней информацией TEL, но на основе названия модели и назначения можно выделить ключевые параметры:

1. Тип установки: Предназначен для установки в конкретную модель степпера/сканера TEL FPD (см. совместимость ниже).
2. Материал: Высокопрочный, термостабильный алюминиевый сплав или специальная керамика для минимального теплового расширения и высокой жесткости.
3. Точность позиционирования: Обеспечивает фиксацию маски с микронной и субмикронной точностью. Имеет прецизионные механические упоры или систему зажимов.
4. Размер и формат: Адаптирован под конкретный стандартный размер фотошаблонов FPD (например, соответствующий размерам стекол Gen 8.5, Gen 10.5 и т.д.). Модель TK4984A6 скорее всего относится к определенному поколению оборудования.
5. Вес: Значительный, обусловлен размерами и необходимостью обеспечения абсолютной стабильности.
6. Интерфейс: Имеет крепления и интерфейсы для установки в транспортную систему (магазин масок) и непосредственно в позицию экспонирования внутри аппарата.
7. Чистота: Производится и поставляется в условиях высокого класса чистоты, чтобы не вносить загрязнений в чистую зону процесса.

Парт-номера (Part Numbers) и Совместимые модели

Это самая важная практическая информация. Модель TK4984A6 является частью системы и совместима с определенными установками.

Важное примечание: Номера деталей могут незначительно варьироваться в зависимости от ревизии и года выпуска оборудования. Необходимо сверяться с официальными каталогами запчастей TEL или связываться с сервисным инженером TEL для 100% подтверждения совместимости перед заказом.

Совместимые основные модели оборудования (FPD Steppers / Scanners):

Держатель масок TK4984A6, с высокой вероятностью, предназначен для одного из следующих аппаратов Tokyo Electron в серии FPD:

• TEL FPD Aligner серии 6000 (например, модели для высокопроизводительного производства).
• TEL FPD Stepper (более старые или специализированные модели степперов).
• Конкретно может использоваться в системах, подобных TEL FPD Lithography System.

Для точного определения необходимо знать модель установки (Tool ID), например:

• FPD-6000A6
• FPD-6000A8
• Или другие модификации.

Связанные парт-номера (примеры):

Обычно одна деталь входит в узел или имеет смежные компоненты. С ней могут быть связаны:

• Прокладки и уплотнения: Номера для уплотнительных колец или прокладок, обеспечивающих вакуумный прижим или защиту от частиц.
• Комплект крепежа: Болты, шайбы, фиксаторы для монтажа.
• Сменные зажимы или прижимы: Непосредственно контактирующие с маской.
• Альтернативные версии: Могут существовать модификации, например, TK4984A6R1 (Revision 1), TK4984A6**-SP** (Special) и т.д.

Рекомендуемые действия для заказа:

1. Используйте TK4984A6 как базовый номер детали.
2. Предоставьте поставщику или напрямую TEL полное название вашей производственной линии и точную модель литографического аппарата.
3. Укажите серийный номер аппарата (Tool S/N) — это самый надежный способ идентифицировать нужную версию детали.

Ключевые особенности и применение

• Высокая надежность: Рассчитан на тысячи циклов загрузки/разгрузки маски.
• Поддержка высокого ювера: Критически важен для поддержания точного совмещения (оверлея) между различными слоями при производстве дисплеев.
• Минимизация загрязнений: Конструкция сводит к минимуму генерацию частиц.
• Применение: Техническое обслуживание (плановое или аварийное), ремонт, модернизация производственной линии дисплеев.

Для получения точных чертежей, спецификаций и коммерческих условий необходимо обращаться в официальную службу поддержки клиентов Tokyo Electron (TEL) или к их авторизованным дистрибьюторам.