Tokyo Electron TOB1106 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron TOB1106 — это промышленный робот-манипулятор (точнее, вакуумный манипулятор пластин), применяемый в полупроводниковом производстве. Устройство разработано корпорацией Tokyo Electron Limited (TEL) — одним из крупнейших мировых производителей оборудования для производства полупроводников и Flat Panel Display (FPD).

Данный модуль относится к классу атмосферных или вакуумных роботов для передачи пластин (wafer transfer robots) и предназначен для транспортировки кремниевых пластин между камерами обработки, кассетами и загрузочными портами внутри кластерных установок TEL. Ключевая особенность — высокая точность позиционирования, чистота исполнения (совместимость с чистыми помещениями Class 1/10) и минимальное образование частиц (particle generation).

Обычно ROB1106 встречается в составе:

• кластерных систем травления (etch systems),
• установок CVD/PVD,
• систем очистки (cleaning),
• систем нанесения фоторезиста и проявки (coater/developer — Clean Track).

Отличительная черта серии TOB1106 — двухзвённая (SCARA-типа) или телескопическая рука, точное воспроизведение позиций и низкий уровень вибраций при переносе пластин Ø200 и Ø300 мм.

Технические характеристики (типовые)

⚠️ Точные значения зависят от конкретной модификации (rev./sub-rev), т.к. TOB1106 выпускался в нескольких версиях. Ниже — обобщённые характеристики класса.

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL), Япония | | Тип устройства | Вакуумный/атмосферный робот-манипулятор для передачи пластин | | Кинематика | SCARA / телескопическая рука (2 звена) | | Степени свободы | 3–4 (R, Z, θ + захват) | | Диаметр пластин | 200 мм / 300 мм (в зависимости от версии) | | Тип захвата | Вакуумный (Vacuum chuck) или Edge grip | | Повторяемость позиционирования | ±0.05 мм (типовое) | | Точность установки по центру | ±0.1 мм | | Диапазон перемещения по Z | 10–50 мм | | Угол вращения θ | 360° (непрерывно) | | Скорость переноса | ~ 1–2 сек / операция | | Рабочая среда | Вакуум (10⁻⁶ – 10⁻⁸ Torr) или атмосфера N₂ | | Материалы | Алюминий, нержавеющая сталь, керамика, Vespel/PEEK | | Уровень частиц | Class 1 (ISO 3) и чище | | Интерфейс управления | Собственный контроллер TEL / SECS-I, SECS-II (HSMS) | | Питание | 100–240 V AC, 50/60 Hz | | Охлаждение | Естественное (без вентиляторов в вакуумной части) | | Масса | ~ 15–30 кг (зависит от модификации) | | Класс чистоты помещения | Cleanroom Class 1/10 |

Парт-номера (Part Numbers)

Парт-номера TEL формируются по внутренней системе и различаются по ревизии, длине руки, типу Z-оси и условиям работы (vacuum / atmospheric). Ниже — типовые варианты обозначений, встречающихся в документации и на вторичном рынке:

| Парт-номер | Описание | |---|---| | TOB1106 | Базовое обозначение серии (без суффикса) | | TOB1106-01 | Атмосферная версия, для 200 мм | | TOB1106-02 | Вакуумная версия, для 200 мм | | TOB1106-11 | Вакуумная версия, для 300 мм | | TOB1106-12 | Атмосферная версия, для 300 мм | | TOB1106-XX (008-XXXXX) | OEM-партномера по системам TEL (для конкретных моделей оборудования) | | R-TOB-1106-A (или аналогичные) | Обозначения после refurb/rebuild у сторонних сервисов |

Также часто встречаются внутренние TEL P/N, которые включают номер сборки, например:

• TOB1106-ASSY-200
• TOB1106-KIT-RB (ремонтный комплект)
• TOB1106-REV B, REV C, и т. д. (ревизии)

Точный парт-номер необходимо уточнять у TEL или по сервисному мануалу конкретной установки, поскольку TOB1106 поставлялся преимущественно как OEM-компонент и отдельно коммерчески доступен ограниченно.

Совместимые модели / платформы

TOB1106 как робот-передатчик обычно встраивается в следующие платформы TEL и совместимые системы:

Оборудование Tokyo Electron

• Clean Track серии: ACT-8, ACT-12, CLEAN TRACK ACT 8/12, LITHIUS, LITHIUS Pro, LITHIUS Pro Z, LITHIUS Pro Si
• Etch systems: UNITY pp, UNITY IIe, UNITY Me (UNITY Me-1a/Mz), TACTRASTS
• CVD/PVD: TONUS, TRIRESTARTER, Alpha-8SE
• Coater/Developer: все модели где используется передача пластин между блоками
• Системы очистки: совместимые dry/wet cleaning модули TEL

Совместимые (клоны/аналогичные системы других брендов)

• Novellus / LAM / Applied Materials — только при использовании общих vacuum transfer module (форматизация руки и интерфейс должны совпадать).
• Частые применения в составе кластеров c переносными модулями: Centura, Endura, Producer, но с обязательной адаптацией контроллера.

Пластины / кассеты

• FOUP и FOSB для 200/300 мм
• SMIF pods
• Кассеты типа SEMI стандарта E47/E57

Примечания и оговорки

1. Большая часть данных по TOB1106 в открытых источниках ограничена — TEL не публикует полные datasheets для компонентов. Официально поставляется и обслуживается только с оборудованием TEL или через авторизованных сервисных партнёров.
2. Парт-номера выше могут быть неполными или отличаться от фактических P/N — обязательно сверяйте с сервисным мануалом TEL (TEL Document № соответсвует модели системы, в которую встроен робот) .
3. При подборе замены учитывайте:
   • диаметр обрабатываемых пластин (200 мм vs 300 мм),
   • рабочую среду (вакуум/атмосфера),
   • интерфейс управления (SECS/GEM, DISCRETE I/O),
   • ревизию крепления к TM (дактилоскопия фирменного фланца),
   • длину руки/Work Envelope.

Если нужно, могу дополнительно:

• составить чек-лист диагностики и типов повреждений данных роботов,
• подобрать альтернативных поставщиков refurb/service (например, TRU-Vac, AST, Technesol),
• разобрать конкретный парт-номер из интерфейса оборудования TEL, который у вас есть на руках.

Сообщите, для какой именно станции (Clean Track / UNITY / иной) вам нужен подбор — уточню точную модификацию.