Tokyo Electron TTLD25-11

Описание

Tokyo Electron TTLD25-11 — это промышленный компонент (деталь) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей установок для производства полупроводников.

TTLD25-11 относится к категории запасных частей и расходных компонентов для оборудования TEL, применяемого в процессах фотолитографии, травления, осаждения и очистки пластин. Такие компоненты обеспечивают точность, стабильность и воспроизводимость технологических процессов при производстве интегральных микросхем.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует в открытом доступе полные технические datasheet'ы на отдельные каталожные позиции запасных частей — эта информация распространяется только через авторизованных сервисных партнёров и закрытые порталы TEL. Поэтому приведённые ниже данные являются типовыми характеристиками для компонентов данной серии. Для точных спецификаций рекомендуется обращаться к официальному дистрибьютору TEL.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Каталожный номер | TTLD25-11 | | Тип компонента | Запасная часть / узел оборудования TEL | | Применение | Полупроводниковое производство (фотолитография, CVD/PVD, травление, очистка) | | Совместимость с поколениями пластин | 200 мм / 300 мм (уточняется по модели оборудования) | | Рабочая среда | Вакуум / плазма / агрессивные химические среды | | Материал | Коррозионностойкие сплавы, керамика, высокочистые полимеры (зависит от узла) | | Класс чистоты | Semiconductor grade (Cleanroom Class 1–10) | | Температурный диапазон | Зависит от конкретного узла (обычно до +200…+400 °C для термических узлов) | | Ресурс | Рассчитан на определённое число циклов / RF-часов |

Точные значения необходимо запрашивать у TEL или авторизованного сервис-провайдера (например, через систему TEL e-Service или у регионального дистрибьютора).

Парт-номера (Part Numbers)

У TEL система маркировки запасных частей многоуровневая. Для позиции TTLD25-11 обычно используются:

• TTLD25-11 — базовый (основной) каталожный номер
• Возможные модификации/подварианты (rev. A, B, C…) — присваиваются при доработках

❗ Помимо номера детали TEL часто требует указание серийного номера конкретной установки и кода конфигурации, так как один и тот же номер может иметь разные исполнения для разных платформ.

Если требуется точный заказ — необходимо предоставить:

• модель установки (например, Clean Track ACT12, Lithius, NT333, Telius и др.),
• серийный номер,
• номер позиции по схеме (BM/PM).

Совместимые модели (наиболее вероятные)

Поскольку компонент с индексом TTLD чаще всего встречается в линейке коатер-девелопер (трек) систем TEL и систем травления, он может применяться в:

• Clean Track серии: ACT8, ACT12, Lithius, Lithius Pro, CLEAN TRACK LITHIUS i+
• TEL Tellius / Telius SCCM / Tactras (платформы травления)
• Triase / Trias (модули)
• Alpha-8 / Alpha-12 (устаревшие треки)
• Отдельные узлы NT333, NSR (если совместимость подтверждена)

⚠️ Это предположительный список на основе общедоступной классификации продуктов TEL. Точная совместимость должна подтверждаться по сервис-мануалу.

Где применяется (назначение)

• Обеспечение прецизионной обработки пластин
• Замена изношенных узлов при плановом ТО (PM)
• Поддержание стабильности процесса литографии / травления
• Ремонт после аварийных ситуаций

Рекомендации по заказу

1. Обратиться к официальному дистрибьютору TEL в вашем регионе.
2. Предоставить серийный номер оборудования и номер узла по схеме.
3. Уточнить ревизию компонента.
4. Запросить сертификат соответствия и passport (для чистых производств).
5. Учитывать, что TEL поставляет часть запчастей только как комплект (kit).

Если вы уточните, к какой конкретной установке TEL относится TTLD25-11 (например, Clean Track ACT12 или Tellius), я смогу дать более точное описание и, возможно, перечень совместимых узлов. Если у вас есть фото детали или сервис-мануал — это тоже поможет идентификации.