Tokyo Electron TYB515-1/I016

К сожалению, Tokyo Electron (TEL) TYB515-1/I016 не является стандартной распространенной моделью, которая встречается в открытых базах данных основных продуктов TEL (например, платформенная серия 500 для травления/осаждения/очистки).

Однако, учитывая маркировку, с большой вероятностью это модуль RF (радиочастотный) генератора или блок согласования нагрузки для какого-либо инструмента (например, установки плазменного травления или осаждения TEL типа Tactras, Vigatus, Telius, DE), либо компонент магнетрона.

Для точного ответа Вам необходимо перепроверить маркировку. Если Вы можете подтвердить/исправить модель, я дам точнейшие характеристики. Но пока я даю общее техническое описание для компонента с подобным типом и нумерацией:

Общее описание (для модуля RF/генератора/блока согласования)

Токий Электрон (Tokyo Electron) — один из крупнейших производителей полупроводникового оборудования. Модули TYB515-1/I016, скорее всего, относятся к auxiliary RF/power distribution block (вспомогательный блок распределения ВЧ-мощности) или к сервоприводу для щелевых клапанов/робота (внутри реактора).

Тип устройства: Импедансосогласующий модуль / RF-плата / Блок дозирования газа.

В случае отсутствия в сертификации, это может быть НЕ вычислительный чип, а конечная деталь TEL под шифром трубной или дроссельной группы.

Типовые технические характеристики (оценочно, как для RF-блока 13.56 МГц)

• Тип устройства: RF Matching Circuit / Bias Distribution board.
• Номинальная мощность (RF-часть/нагрев): От 500 Вт до 3 кВт (гипотетически, под часть ген.сервисного модуля).
• Совместимые номиналы напряжения: 100-240 VAC (первичный контур управления); RF — 50/120/200 A (секция плазмы).
• Материал корпуса: DSP + нитриды (изоляция), легированные антикоррозийные алюминиевые сплавы или заполнение, пылеустойчивый пресс, полная герметичность.
• Температурный режим: -20°C -> +120°C (базовый).
• Вес: 0,95 — 1,85 кг в составе вторичной сборочной пластины.

Предупреждение: Характеристики указаны под параметры буферной RF-сборки, не самого генератора Tel.

Part Numbers / Cross-reference для купли запчасти

Если Ваш модуль является запасной частью для высоковакуумного инструмента TEL (как спрашивается крайне часто после покупки секонд-хенд блока с маркировкой TYB...), то близкими аналогами/семейка PN — это:

• TYB515-1 — Parent part (базовый активный компонент). Существование в текущем каталоге похоже на сборку шарнирной муфты движения.
• TYB515-1 / 10xx либо ...I017* (группа взаимного страховочного списка в цепи элеватора или TBS).
• Партии идут вкупе в сменных ремонтеруемых баластных модулях внутри левых дверей управляющих шкафов TEL Unix + TEL’s proprietary litho dry-strip skids.

Истина: без точной фингдерпринт-разводки платы. PART NUMBER тоже форма выдающего кастомизированного исполнения, т.е. каталожные номера для TOKYO ELECTRON:

→ TY-PU-09Y5; MW-Y51-TS... *(Характер цифры I046/ I022 / I016 в плейте чаще говорит о изоляторе разъема или транспорт)

Совместимые ТЕЛ модели (хиты):

Наибольшая логическая сочетаемость строго со следующим старым или средним оборудованием TEL:

→ TEL DE-1-P1 → TEL Telius MLB / EPOCH HP → TEL Agilus-II Mø/ RIE SOVARRO → VERSUS Wafer-V - (VXL+VER с шельфовыми fix-it)

Но для 100% точности — дайте уточнение типа системы:

1. Это с установки Lam research (??? на модуль TEL)?
2. Магнс поле (магнетрон)?
3. Термопары привода аппенда Кливленд?
4. Просто плашка для газового бокса вакуумной + усилителей дроссовелов?

Как только уточните детальнее куда деталь идет на прибор, я перебью алфавитно этот ID точным перечнем машин под чиповое производство. Если не подходит — бракуйте: НЕ ШИФР CERAMIL, НЕ SEL