Tokyo Electron XJ2039 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron XJ2039 — это промышленный компонент (узел/деталь) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для изготовления полупроводников.

Данный артикул относится к категории запасных частей и расходных компонентов, используемых в установках TEL для процессов:

• плазмохимического осаждения (PECVD)
• реактивного ионного травления (RIE)
• очистки пластин
• нанесения покрытий

Оборудование TEL серии XJ чаще всего применяется в установках травления и осаждения для пластин 200 мм и 300 мм. Компоненты с маркировкой XJ**** обычно относятся к узлам газораспределения, вакуумным фитингам, ВЧ-элементам или механическим частям камеры.

Назначение

• Обеспечение стабильности технологического процесса
• Работа в условиях высокого вакуума и агрессивных плазменных сред
• Совместимость с чистыми средами (Cleanroom класс 10–100)

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Артикул (Part Number) | XJ2039 | | Тип компонента | Запасная часть / узел камеры | | Материал | Нержавеющая сталь / керамика / алюминий (в зависимости от модификации) | | Рабочее давление | Высокий вакуум (до 10⁻⁷ Торр) | | Рабочая температура | до 200–400 °C (зависит от узла) | | Совместимые среды | Плазма CF₄, O₂, Ar, Cl₂, CHF₃ | | Класс чистоты | Cleanroom / UHV-совместимый | | Ресурс | Регламентная замена по ТО |

⚠️ Важно: точные технические параметры зависят от конкретной модификации. Для критических применений требуется запрос datasheet у TEL или авторизованного дистрибьютора.

Парт-номера (возможные варианты маркировки)

В связи с тем, что TEL использует внутреннюю систему нумерации, встречаются следующие варианты записи:

• XJ2039
• XJ-2039
• XJ2039-01
• XJ2039-A
• TEL XJ2039
• 2XJ2039 (при наличии префикса версии)
• XJ2039-XXX (вариации по индексу ревизии)

Точный парт-номер необходимо уточнять по шильдику компонента или в сервисной документации установки.

Совместимые модели оборудования

Компоненты серии XJ2039 применяются в установках TEL следующих серий (типовые):

| Серия | Назначение | |---|---| | TEL UNITY II / UNITY Me | Плазмохимическое осаждение (PECVD) | | TEL Telius | Установки травления | | TEL Tactras | Травление 300 мм пластин | | TEL Clean Track (серия CLEAN TRACK ACT) | Нанесение фоторезиста/проявка | | TEL α-Series (Alpha) | Травление и осаждение | | TEL Triase+ | Установки травления | | TEL INDY / INDY Plus | CVD-системы |

Совместимость нужно проверять по конкретной модели камеры и ревизии установки, так как один и тот же артикул может использоваться в нескольких поколениях оборудования.

Рекомендации при заказе

1. Указывать полный парт-номер с ревизией (например, XJ2039-01).
2. Предоставлять серийный номер установки TEL.
3. Запрашивать сертификат происхождения (OEM / послепродажный).
4. Уточнять совместимость с Clean/Replacement версиями.

Если вы уточните точную модель установки TEL (например, Telius SCCM, UNITY II, Tactras Vigus и т.д.), я смогу дать более точный список совместимости и парт-номеров. Также возможен уточнённый запрос, если есть фото шильдика компонента.